電子超純水的氮封閥門優(yōu)化方案

【資料簡介】

電子超純水的氮封閥門優(yōu)化方案本實用新型屬于超純水氮封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng)。指揮器操作型自力式壓力調(diào)節(jié)閥(以下簡稱調(diào)壓閥),是一種無需外來能源，利用被控介質(zhì)自身能量作動力源，引入指揮器的檢測執(zhí)行機構(gòu)，以控制調(diào)壓閥的閥芯位置，改變流經(jīng)閥門的介質(zhì)流量，使閥后壓力保持在恒定值。該閥的特點:壓力設(shè)定值可在指揮器上實現(xiàn)，在運行中可隨意調(diào)整,因而方便、快捷、省力；控制精度比一般調(diào)壓閥高一倍左右；減壓比大;設(shè)定壓力低等。

電子超純水的氮封閥門優(yōu)化方案背景技術(shù)：
在范圍內(nèi)，新材料不斷研發(fā)和進步，對水的需求越來越高，同時，水資源日趨匱乏也是企業(yè)所面臨的現(xiàn)狀，因此，水技術(shù)市場的發(fā)展前景是*的。
純水和超純水的生產(chǎn)便是其中非常重要的組成部分。在電子半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)工序中需要用到大量的超純水進行沖洗，edi系統(tǒng)制取出的超純水需要進行封存，不能與空氣接觸，否則空氣中的co2、o2和雜質(zhì)會因接觸水體而影響水質(zhì)。

一種純水系統(tǒng)的氮氣節(jié)能裝置，包括純水箱，氮氣進氣管及補水管，所述純水箱還通過水箱溢流管與水封桶的水箱連接管相連，還設(shè)置有進水閥和液位計，其通過液位傳感器與純水箱外部的液位控制器相連接，達到節(jié)約氮氣消耗量的目的，通過在純水水箱中設(shè)置的氮封閥等氮封系統(tǒng)，使水箱內(nèi)氮氣的氣相空間壓力維持在2.5kpa左右，當氣相空間壓力高于2.5kpa時，氮封閥關(guān)閉，停止氮氣供應(yīng)；當氣相空間壓力低于2.5kpa時，一種純水系統(tǒng)的氮氣節(jié)能裝置，采用空氣減壓閥、電磁閥的設(shè)置，通過微調(diào)壓力表，用來檢測氮封水箱中的氮氣壓力，根據(jù)氮封水箱氮氣壓力控制，調(diào)節(jié)氮氣輸出。
調(diào)壓閥由指揮器、主閥、節(jié)流閥、過濾減壓器所組成(見圖一)。介質(zhì)由箭頭方向進入閥體,經(jīng)閥芯、閥座節(jié)流后輸出。同時閥前介質(zhì)經(jīng)過濾減壓器過濾減壓后進入指揮器閥體，經(jīng)指揮器調(diào)節(jié)后進入主閥執(zhí)行機構(gòu)上下膜室。閥后介質(zhì)經(jīng)接管引入指揮器檢測膜室，當輸出壓力升高時，經(jīng)指揮器和節(jié)流閥作用關(guān)閉主閥,直到閥后壓力降低到設(shè)定值為止。同理，當輸出壓力降低時，經(jīng)指揮器和節(jié)流閥作用開啟主閥,直到閥后壓力上升到設(shè)定值為止。

規(guī) 格      型 號	薄膜式
用    途	調(diào)  節(jié)
膜片材質(zhì)	丁橡膠、氟橡膠、耐油橡膠
接    口	M16×1.5
作用方式	壓力升高閥門打開、壓力升高閥門關(guān)閉
使用溫度	氣體：-20～+120℃
標配閥門附件	取壓管(含取壓接頭)
可選閥門附件	取壓接管、截止閥、壓力表、法蘭、墊片及緊固件

技術(shù)實現(xiàn)要素：
針對上述問題，本實用新型提供一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng)，用于edi系統(tǒng)制取的超純水的封存，通過設(shè)置比例調(diào)節(jié)閥的開度與外供泵的流量聯(lián)鎖控制，可根據(jù)外供泵的流量大小，控制比例調(diào)節(jié)閥的開度，調(diào)節(jié)進入氮封水箱的通道，終達到一個氮封水箱液位恒定的目的，達到節(jié)省高純氮氣的目的。

本實用新型解決上述問題的技術(shù)方案如下：
用于電子超純水的氮封系統(tǒng)，包含有：
一純水產(chǎn)水裝置，用于制造純凈水；
一氮封水箱，用于承接、存放所述純水產(chǎn)水裝置所制造的純凈水；
一氮氣氣源，用于提供所述氮封水箱實現(xiàn)氮封所需的氮氣；
一外供管路，其上設(shè)置有至少一個外供泵，用于將所述氮封水箱內(nèi)的純凈水向外輸送；
一比例調(diào)節(jié)閥，設(shè)置于所述純水產(chǎn)水裝置與所述氮封水箱相連通的管路上，所述比例調(diào)節(jié)閥還與副容器相連通；
一plc控制系統(tǒng)，其將所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述外供泵的流量輸出值相聯(lián)鎖。

所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述外供泵的流量輸出值通過控制器相聯(lián)鎖，所述控制器可以為單片機，其一個控制端與所述比例調(diào)節(jié)閥相連，另一個控制端與所述外供泵相連，當所述外供泵的流量增大時，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度增大（流向副容器的流量減小），當所述外供泵的流量減小時，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度減?。飨蚋比萜鞯牧髁吭龃螅?br />作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮封水箱上設(shè)置有一液位計，所述液位計通過設(shè)置于所述氮封水箱內(nèi)的液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述plc控制系統(tǒng)將所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)相聯(lián)鎖。
所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)通過控制器相聯(lián)鎖，所述控制器可以為單片機，其一個控制端與所述比例調(diào)節(jié)閥相連，另一個控制端與所述液位傳感器相連，當所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)升高時，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度增大（流向副容器的流量減?。?，當所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)降低時，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度減?。飨蚋比萜鞯牧髁吭龃螅?。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮氣氣源與所述氮封水箱相連通的管路上依次設(shè)置有減壓閥和氮封閥。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述比例調(diào)節(jié)閥為一個三通閥，分別與所述純水產(chǎn)水裝置、所述氮封水箱和所述副容器相連通。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述純水產(chǎn)水裝置為edi產(chǎn)水裝置。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述副容器為一級反滲透產(chǎn)水箱。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮封水箱的上部設(shè)置有水封管路，所述水封管路的出口與水封箱相連通。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮封水箱的頂部設(shè)置有呼吸閥。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮封水箱的底部設(shè)置有排放管路，所述排放管路連通有排放水箱。
綜上所述，本實用新型具有以下有益效果：
本申請?zhí)峁┮环N用于電子超純水的氮封系統(tǒng)，用于edi系統(tǒng)制取的超純水的封存，通過設(shè)置比例調(diào)節(jié)閥的開度與外供泵的流量聯(lián)鎖控制，可根據(jù)外供泵的流量大小，控制比例調(diào)節(jié)閥的開度，調(diào)節(jié)進入氮封水箱的通道，終達到一個氮封水箱液位恒定的目的，達到節(jié)省高純氮氣的目的。

安裝與維護
3.1安裝
Ø 安裝前應(yīng)檢查產(chǎn)品型號、規(guī)格是否符合要求，管道應(yīng)進行清洗，清除焊渣與雜物等，閥門應(yīng)正立、垂直安裝在管道上，介質(zhì)流向應(yīng)與閥體箭頭一致。如有可能應(yīng)設(shè)置旁通閥。
Ø 為確保調(diào)壓閥正常工作，在閥前應(yīng)設(shè)置過濾器、壓力表與手控閥，安裝圖見圖二。
3.2 使用
Ø 緩慢將調(diào)節(jié)閥前、后截止閥開到大，此時因介質(zhì)引入調(diào)節(jié)閥，可觀察壓力表示值。
Ø 逐漸關(guān)閉旁通閥，打開殼罩，并調(diào)整彈簧預(yù)緊力，直到壓力表示值達到工藝要求為止。
Ø 鎖緊螺母，蓋上殼罩。

3.2 維護保養(yǎng)
該裝置投入正常運行后無需特殊維護,但需定期對指揮器、節(jié)流閥和過濾減壓器進行清洗,若出現(xiàn)故障，按表四進行處理。所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)通過控制器相聯(lián)鎖，所述控制器可以為單片機，其一個控制端與所述比例調(diào)節(jié)閥相連，另一個控制端與所述液位傳感器相連，當所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)升高時，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度增大（流向一級反滲透產(chǎn)水箱的流量減?。斔鲆何粋鞲衅鬏敵鲆何粩?shù)據(jù)降低時，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門開度減?。飨蛞患壏礉B透產(chǎn)水箱的流量增大）。