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上海申弘閥門有限公司
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超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用

時(shí)間:2023/5/29閱讀:917
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超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用

超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi),水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥贙,氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。  活性炭按材料可分為螺母殼活性炭、木活性炭和煤活性炭?;钚蕴慨a(chǎn)品廣泛應(yīng)用于高純水設(shè)備,純凈水,因?yàn)橐话愕某S脙?chǔ)水罐為了維持內(nèi)部與外部的壓力平衡,當(dāng)罐內(nèi)水量減少的時(shí)候,除非使罐子被不斷的壓縮,不然罐內(nèi)就會(huì)有空氣填入其中,維持外部與內(nèi)部的平衡,顯然在超純水的生產(chǎn)過(guò)程中,使空氣進(jìn)入是非常不理智的行為。常見(jiàn)的大氣中富含各種污染物質(zhì),這類污染物質(zhì)雖然對(duì)人體的影響并不是很大,但是在高精度儀器面前,它們會(huì)時(shí)刻影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),讓數(shù)據(jù)出現(xiàn)不同程度的改變,特別是在電子級(jí)實(shí)驗(yàn)面前,微生物或者離子的影響都會(huì)使實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)失效,所以采用氮封裝置能很好的保證儲(chǔ)水桶內(nèi)的水質(zhì)穩(wěn)定。

空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng),故一旦超純水與空氣接觸,就會(huì)使其電阻率迅速下降,實(shí)踐證明15MΩ·m以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ·m,3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ·m左右,因此超純水的儲(chǔ)存容器需確保水體不與空氣的接觸。

氮封閥由供氮裝置供氮閥和泄氮裝置泄氮閥兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成;泄氮裝置由內(nèi)反饋的壓開(kāi)型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮?dú)鈮毫σ话阍O(shè)為100mmH2O.通過(guò)氮封裝置控制。

超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用 產(chǎn)品特點(diǎn)

無(wú)需外加能源,能在無(wú)電、無(wú)氣的場(chǎng)合工作,既方便,又節(jié)約能源,降低成本;
氮封閥壓力設(shè)定方便,可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行;
壓力檢測(cè)膜片有效面積大,設(shè)定彈簧剛度小,動(dòng)作靈敏,裝置工作平穩(wěn);
采用無(wú)填料設(shè)計(jì),閥桿所受摩擦力小,反應(yīng)迅速,控制精度高;
供氮裝置采用指揮器操作,減壓比可達(dá)100:1,減壓效果好,控制精度高;
為確保儲(chǔ)罐的,需在罐頂設(shè)置呼吸閥;
呼吸閥僅起作用,避免了常規(guī)氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。

超純水設(shè)備氮封水箱的工作原理:

超純水設(shè)備的氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi),水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa,氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。

氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成,而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成,當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí),快速泄放閥迅速開(kāi)啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),開(kāi)啟閥門,向罐內(nèi)充注氮?dú)?。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高,必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。

氮封閥002.png

廣東漢洛環(huán)??萍加邢薰鞠到y(tǒng)主要采用預(yù)處理+反滲透+電去離子(EDI)+拋光混床超純水處理技術(shù),前置預(yù)處理加反滲透處理,有效去除水中各種鹽份及雜質(zhì),然后運(yùn)用CEDI及拋光混床系統(tǒng),進(jìn)一步提升水質(zhì),使出水達(dá)到用水工藝要求。電子行業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)中需要用到的水是超純水,比如單/多晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝、引線柜架、集成電路、 液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、電池(蓄電池)、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器、潔凈產(chǎn)品及各種元器件等,電子行業(yè)生產(chǎn)工藝用純水基本是1-18Ω﹒cm范圍的水。

序號(hào)

 

型 號(hào) 及 規(guī) 格

單位

數(shù)量

單 價(jià)

(元)

金 額

(元)

閥體材質(zhì)及其它

1

氮封閥

氮封閥ZZYVP-II DN25 PN16

進(jìn)口壓力 0.3-0.8 MPA,

出口壓力1 KPA

臺(tái)

2



WCB

2

泄壓閥

泄壓閥ZXD-10   DN25    PN16

起跳壓力2KPA

臺(tái)

2



WCB

3

呼吸閥

呼吸閥ZFQ  DN50 PN10

正壓:3KPA

負(fù)壓:-298PA

臺(tái)

2



WCB

壓力可按要求分段設(shè)定,從0.5Kpa至60 Kpa以下。

微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如:3Kpa。

泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值,如:8Kpa。

具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。

氮?dú)?(N2)的純度為99.999%以上。

氮封閥018.png

超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用主要技術(shù)參數(shù)

公稱通徑(mm)2025405080100150
閥座直徑(mm)61520253240506580100125150
額定流量系數(shù)Kv3.2581020325080100160250400
壓力調(diào)節(jié)范圍0.5~70 20~120 60~400 300~700 500~1000 KPa
公稱壓力PN1.0、1.6 MPa
被調(diào)介質(zhì)溫度80、200 ℃
流量特性快開(kāi)型
調(diào)節(jié)精度≤5%
允許壓降(MPa)1.61.61.10.60.4
薄膜有效面積(C㎡)200280400
允許泄漏量符合ANSIB16.104—1976 IV級(jí)
閥蓋形式標(biāo)準(zhǔn)型 (整體式)
壓蓋型式螺栓壓緊式
密封填料V型聚四氟乙烯填料、含浸聚四氟乙烯石棉填料、石棉紡織填料、石墨填料
閥芯形式單座型閥芯
流量特性直線性

超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用處理超純水與空氣接觸的方法:

充氮法:即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫Γ柚勾髿馀c箱內(nèi)水面接觸。

薄膜袋法:即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。    

浮頂法:即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會(huì)。

在上述三種方法中又以氮封水箱常見(jiàn),實(shí)施簡(jiǎn)單,效果好。

氮封系統(tǒng).jpg

1 超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用工藝特點(diǎn)

在儲(chǔ)罐上設(shè)置氮封系統(tǒng),維持罐內(nèi)氣相空間壓力在2.5KPa左右,當(dāng)氣相空間壓力高于2.5KPa時(shí),氮封閥關(guān)閉,停止氮?dú)夤?yīng);當(dāng)氣相空間壓力低于2.5KPa時(shí),氮封閥開(kāi)啟,開(kāi)始補(bǔ)充氮?dú)?,保證儲(chǔ)罐在正常運(yùn)行過(guò)程中不吸進(jìn)空氣,防止空氣中的塵埃、CO2等污染物進(jìn)入DI水中形成二次污染。

1)在每臺(tái)儲(chǔ)罐上設(shè)置先導(dǎo)式氮封閥組和溢流水封箱,正常情況下使用氮封閥組維持罐內(nèi)氣相空間壓力在2.5KPa左右,當(dāng)氣相空間壓力高于2.5KPa時(shí),氮封閥關(guān)閉,停止氮?dú)夤?yīng);當(dāng)氣相空間壓力低于2.5KPa時(shí),氮封閥開(kāi)啟,開(kāi)始補(bǔ)充氮?dú)狻?/p>

2)當(dāng)?shù)忾y需要檢修或故障時(shí):

在負(fù)壓低于-0.85Kpa時(shí),溢流管水封箱從防負(fù)壓口吸入空氣,防止負(fù)壓過(guò)高導(dǎo)致水箱吸扁;在壓力高于3KPa時(shí),通過(guò)溢流管水封箱的溢出口外排多余的氮?dú)?,防止水箱膨脹破裂,以防止事故擴(kuò)大。

3)當(dāng)DI水箱液位器需要檢修或故障時(shí):

如DI水箱的液位器出現(xiàn)異常時(shí),水箱滿水通過(guò)溢流管水封箱的溢出口外排多余的水,防止水箱膨脹破裂,以防止事故擴(kuò)大。

2 超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用安裝布置

1)氮封閥、調(diào)壓閥及壓力表的安裝位置宜安裝于標(biāo)高1.0m左右,便于日常維護(hù)。氣體流量計(jì)的安裝位置宜安裝于標(biāo)高1.5m左右,便于日常觀察。

2)罐頂?shù)獨(dú)饨涌诘拈_(kāi)口方位宜位于罐頂中心部位,氮?dú)夤艿涝诘忾y之前采用SS304潔凈管,之后采用UPVC潔凈管。

3)溢流管水封箱就地安裝,其相應(yīng)的底部溢出口接管盡可能的排至室外或通風(fēng)的地方,防止室內(nèi)氮?dú)鉂舛冗^(guò)高。

超純水氮封閥裝置在漢洛環(huán)保應(yīng)用

氮封裝置由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成;泄氮裝置由內(nèi)反饋的壓開(kāi)型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮?dú)鈮毫σ话阍O(shè)為100mmH2O,通過(guò)氮封裝置控制。當(dāng)水箱上游水泵開(kāi)啟,向超純水水箱補(bǔ)水時(shí),水箱水位上升,氣相部分容積減小,壓力升高,當(dāng)水箱上部氣體空間壓力升至高于泄氮裝置壓力設(shè)定值時(shí),泄氮裝置打開(kāi),向外界釋放氮?dú)?,使罐?nèi)壓力下降,當(dāng)降至泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),泄氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。當(dāng)水箱后級(jí)水泵開(kāi)啟,用戶端開(kāi)始用水時(shí),液面下降,氣相部分容積增大,罐內(nèi)壓力降低,供氮裝置開(kāi)啟,向儲(chǔ)罐注入氮?dú)?,使罐?nèi)壓力上升,當(dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。

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