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行業(yè)產(chǎn)品

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西安方恒電子科技有限公司


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MEMS電容三軸加速度傳感器

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參   考   價(jià): ￥ 1500

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)FH413A05

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地西安市

聯(lián)系方式：周斌查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-04-23 14:50:07瀏覽次數(shù)：77次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：14條

所在地區(qū)：陜西西安市

聯(lián)系人：周斌 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介
材料 金屬 材料晶體結(jié)構(gòu) 多晶
材料物理性質(zhì) 半導(dǎo)體 遲滯 1%F.S
防護(hù)等級(jí) IP67 分辨率 0.01
加工定制 是 靈敏度 400MV/g
輸出信號(hào) 模擬型 線性度 1%F.S
制作工藝 陶瓷 重復(fù)性 1%F.S

FH413A05MEMS電容三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號(hào)限制電路。本產(chǎn)品可用于汽車測控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測量等系統(tǒng)中。

詳細(xì)介紹

FH413A05MEMS電容三軸加速度傳感器說明書

一、簡介

FH413A05 MEMS電容三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具自檢測（Self-Test）等功能，可實(shí)現(xiàn)自檢測。

本產(chǎn)品可用于汽車測控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測量等系統(tǒng)中。

二、原理

FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克 服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊 相連的中板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測量比例于加速度的多硅結(jié) 構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。

MEMS電容三軸加速度傳感器


三、技術(shù)條件

 

性能

FH413A性能

Ax ，Ay ，Az

測量范圍（ g）

±2

±4

±5

± 10

±20

±40

靈敏度（mV/g）

1000±50

500±50

400±30

200±20

100±10

50±5

帶寬（10%，Hz）

0～500

零 g 偏置電壓（V）

2.5±0.05

滿量程輸出（V）

0.5-4.5

零偏溫度變化（mg/ °C）

±0.2~ ±0.8

交叉軸影響（%）

≤2

非線性度(％F.S)

≤0.1

噪聲密度（ug/ √Hz）

20~80

供電要求

供電電壓(VDC)

12±0.5

輸入電流（mA）

≤20

工作環(huán)境

 

 

使用溫度（。C）

-45～+85

抗沖擊（ g）

5000

重量、體積

重量(g)

≤20

體積（mm3 )

21.6×21.6×12.4

四、接線端子定義

 


引線號(hào)

1

2

3

4

5

6

顏色

紅

黑

藍(lán)

黃

白

屏蔽

定義

12v

GND

Ax

Ay

Az

殼體地




關(guān)鍵詞：芯片 電容器 傳感器

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