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深圳市夢啟半導體裝備有限公司


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晶圓減薄機

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參   考   價: ￥ 1000000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號DL-GD2005A

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：駱先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-09-27 14:33:55瀏覽次數：417次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：11條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：駱先生 （運營）

產品簡介
晶圓尺寸 ?8'' (?4''/?6''/?8'')in 研磨方式 晶圓旋轉進給磨削
砂輪直徑 ?250金剛石砂輪mm 主軸額定功率 7.5/12.9KW
主軸額定轉速 4000RPM 磨削精度片間厚度變化 ≤±2um
磨削精度TTV ≤2um 磨削精度表面粗糙度Ra 0.15（#2000）um

1、氣源使用壓力為0.5Mpa~ 0.8 Mpa 露點為-40 ℃，殘余含塵量≤0.1mg/m'，殘余含油量≤0.01mgm'，氣體流量為2.4mmin，管徑 012。
2、真空負壓為-80kpa--85kpa，管徑 012。
3、水源使用壓力為0.25Mpa-0.4Mpa，管徑 016。

詳細介紹

設備優(yōu)勢

◎ 減薄單元采用軸向進給(ln-Feed)磨削原理，兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。


◎ 設備配有MARPOSS在線測量儀單元，加工時實時測量產品厚度，精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測量NCG單元。


◎ 設備核心是具有自主產權的2個靜壓氣浮磨削主軸、3個高精度晶圓主軸及1個高剛度大直徑氣浮回轉工作臺構造的全自動磨削減薄機。


◎ 全自動上下料?？蛇M行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。


◎ 分別在前面、左面、右面各配置了1臺觸摸式液晶顯示器，方便在不同區(qū)域作業(yè)需求，提高了操作便利性?？刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡單地完成操作。


性能參數
參數名稱單位DL-GD2005ADL-GD3005A
晶圓尺寸in?8'' (?4''/?6''/?8'')

?12'' (?8''/?12'')

研磨方式-晶圓旋轉進給磨削
砂輪直徑mm?250金剛石砂輪?300金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW7.5/12.95.5
額定轉速RPM40003500
磨削精度片間厚度變化
um≤±2≤±3
TTVum≤2≤3
表面粗糙度Raum0.15（#2000）0.15（#2000）
設備尺寸（W x D x H）mm1350x3200x19501544x3622x2000
設備重量KG約3500約4000


關鍵詞：顯示器 工作臺

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