原理
基于石英諧振原理，以石英基膜作為感壓元件，當外界輸入壓力時，引起石英基膜發(fā)生應變，導致與感壓膜剛性連接的石英振梁的諧振頻率發(fā)生變化，從而實現(xiàn)壓力測量。外配激振電路，即可將輸入的壓力轉換為頻率輸出。
優(yōu)勢
1、感壓模式：石英晶體感知壓力變化，溫漂系數(shù)小，穩(wěn)定性高，石英晶體本身決定的，它的彈性模量或者說楊氏模量比硅的小一半。所以，對于硅材料來說，石英材料本身存在一定的優(yōu)勢。
2、材料：石英諧振芯體相對陶瓷或者金屬的，體積更小，穩(wěn)定性更強，技術含量更高。全石英結構設計，上面采用了ack，面板就是一個接口電路，把差動電容的變化轉化成數(shù)字量 ，還有一個溫度測量功能，這樣客戶在使用時不用再設計微弱信號減弱，直接用單片機把數(shù)據(jù)讀取出來。
3、工藝：基于石英QMEMS工藝，石英改良模及石英振梁的一體化加工，這個技術有自主知識產(chǎn)權，在國內(nèi)也是批量生產(chǎn)化生產(chǎn)。
4、創(chuàng)新方案：石英加工技術和傳感器微弱信號檢測、ic技術。
5、結構：石英絕壓芯體（表頭/機械部件）：有三條梁組成，中間這個是音差/感壓枕梁，外面有壓力輸入會引起感壓枕梁的頻率變化，上面是基本枕梁（不受壓力變化影響，但是會隨著溫度發(fā)生變化），下面是一個配重枕梁，基本枕梁和配重枕梁的差值就是感壓枕梁，從而提高產(chǎn)品的精度。
6、封裝材料：封裝的材料一半是316L。
7、輸出信號：壓力直接可轉成頻率信號，產(chǎn)品主要通過頻率的變化反應壓力的變化。
應用領域：
氣壓高度表、飛行器大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)、液位測量、壓力變送器、流量測量、工業(yè)控制，能源行業(yè)，具體包括制藥行業(yè)、監(jiān)測油井和天然氣井、海洋工程、電蒸汽鍋爐過程測量等需要高精度、長期穩(wěn)定性、溫度特性、靜壓特性等領域。
