Polyflora B 光化學過濾器

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更新時間：2025-07-06 15:11:36瀏覽次數(shù)：32次

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產品簡介

濾膜前后雙通道排氣PolyfloraB系列光化學過濾器，基于已有的E、F系列的結構設計，針對更高精度需求和關鍵點位光刻膠對氣泡極其嚴格的管控要求，開發(fā)設計了濾膜前后雙通道排氣的方式，以應對光刻技術中的過濾挑戰(zhàn)，適用于最關鍵的光刻膠和光化學應用

詳細介紹

濾膜前后雙通道排氣
Polyflora B 系列光化學過濾器，基于已有的 E、F 系列的結構設計，針對更高精度需求和關鍵點位光刻膠對氣泡極其嚴格的管控要求，開發(fā)設計了濾膜前后雙通道排氣的方式，以應對光刻技術中的過濾挑戰(zhàn)，適用于最關鍵的光刻膠和光化學應用。

產品特色
- 化學兼容性：支持 EUV、ArF、KrF 等光化學試劑
- 低析出：金屬離子、有機物、非揮發(fā)性殘留物物質低析出管控
- 超凈工藝：加強清洗技術減少顆粒脫落和微氣泡形成
- 靈活適配：多種膜材料（UPE、Nylon、PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可選。

典型應用
- EUV、ArF、KrF 光刻膠
- 顯影液
- 溶劑類

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