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Gasfaver 高溫超純氣體擴(kuò)散器

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更新時(shí)間：2025-07-06 13:56:30瀏覽次數(shù)：20次

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優(yōu)異的化學(xué)兼容性、適用多種工藝氣體結(jié)合過(guò)濾器的顆粒攔截，減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流Gasfaver系列擴(kuò)散器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

優(yōu)異的化學(xué)兼容性、適用多種工藝氣體

結(jié)合過(guò)濾器的顆粒攔截，減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流
Gasfaver系列擴(kuò)散器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。Gasfaver擴(kuò)散器結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性，過(guò)濾精度達(dá)0.003μm。的濾材結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在保證過(guò)濾效率的同時(shí)，也避免引起湍流，對(duì)工藝室環(huán)境造成影響，防止吹起顆?；蛏踔链灯鸸杵?。

 

 

產(chǎn)品特色
- 減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流
- 適用于多種工藝氣體
- 潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝
- 99% 完整性測(cè)試通過(guò)
- 99% 氦氣泄露檢測(cè)通過(guò)

 


典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣

關(guān)鍵詞：高效過(guò)濾器
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