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Hitachi CDSEM S9380 Retrofit

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：高女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-03-05 10:36:20瀏覽次數(shù)：697次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：25條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：高女士

產(chǎn)品簡介

Hitachi CDSEM S9380 Retrofit

詳細(xì)介紹

Retrofit CDSEM S-9380 執(zhí)行原廠新機(jī)器同樣驗收技術(shù)指標(biāo)：

提供樣品測試驗證；

General

Wafer size : 8-inch (200-mm size)

V-notch wafer of SEMI or JEIDA standards is applicable.

CD measurement principle : Cursor and line profile measurement

CD measurement range : 0.05 to 2.0 mm (either line width or hole diameter)

CD measurement reproducibility : ±1% or 0.6 nm (3 sigma), whichever larger

Throughput : due to the data after modification from Hitachi High-Technologies Corporation

Secondary electron image resolution

: 2 nm (at accelerating voltage of 0.8 kV; with

Hitachi’s reference specimen for resolution measurement)

Magnification : SEM image - 1,000′to 300,000′

Optical microscope image - approximately 110x (220x is optional)

升級：實驗室數(shù)據(jù)上傳接口；


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