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行業(yè)產(chǎn)品

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翌穎科技(上海)有限公司


P-7 臺階儀

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產(chǎn)品型號P-7

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2022-12-22 14:05:39瀏覽次數(shù):363次

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產(chǎn)品簡介

P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

詳細介紹

 


P-7 Stylus Profiler






產(chǎn)品描述

P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。


P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。








主要功能

  •      臺階高度:幾納米至1000μm

  •       微力恒力控制:0.03至50mg

  •       樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

  •       視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機

  •       圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  •       軟件:簡單易用的軟件界面

  •       生產(chǎn)能力:通過測序,模式識別和SECS / GEM實現(xiàn)全自動化


主要應用

  •      臺階高度:2D和3D臺階高度

  •       紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  •       形狀:2D和3D翹曲和形狀

  •       應力:2D和3D薄膜應力

  •       缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌



工業(yè)應用

  •      大學、研究實驗室和研究所

  •       半導體和化合物半導體

  •       LED:發(fā)光二極管

  •       太陽能

  •       MEMS:微機電系統(tǒng)

  •       數(shù)據(jù)存儲

  •       汽車

  •       醫(yī)療設(shè)備



主要技術(shù)參數(shù)

  •      重復性:≤4A (0.10%)

  •       垂直分辨率: 0.01A

  •       水平分辨率(X): 0.025 um

  •       水平分辨率(Y): 0.5 um

  •       采樣率: 5~2000 Hz

  •       垂直線性度:

             士0.5%>2000A.

             10As 2000 A

  •       針壓范圍: 0. 03~50 mg

  •       測量長度: 150 mm

             (無需拼接)

  •       掃描速度:2 um/s - 25 mm/s








關(guān)鍵詞:輪廓儀
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