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南京覃思科技有限公司
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產(chǎn)品型號Q300T ES Plus
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地南京市
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更新時(shí)間:2025-05-20 14:18:38瀏覽次數(shù):20次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 環(huán)保在線Q300T ES Plus大腔室高真空離子濺射和熱蒸發(fā)一體化鍍膜儀
Q300T ES Plus大腔室高真空離子濺射和熱蒸發(fā)一體化鍍膜儀
Q300T ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種鍍膜方式的鍍膜系統(tǒng)。作為成功的Q系列濺射/碳鍍膜儀家族的一員,Q300T ES Plus是一個(gè)大腔室渦輪分子泵抽真空的鍍膜系統(tǒng),非常適合在大直徑樣品或多個(gè)較小試樣上進(jìn)行金屬蒸發(fā)鍍膜,Q300T ES Plus還配備了可互換的濺射頭和碳蒸發(fā)頭。
Q300T ES Plus在大的工作腔室內(nèi)組合了離子濺射、金屬蒸發(fā)和碳蒸鍍系統(tǒng)。鍍膜頭可以在數(shù)秒鐘內(nèi)更換,智能邏輯系統(tǒng)自動(dòng)識別哪個(gè)鍍膜頭已就位,并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置。渦輪分子泵真空系統(tǒng),電容觸摸屏控制,高分辨率離子濺射鍍膜、高真空碳棒鍍膜/金屬蒸發(fā)鍍膜;設(shè)有LED狀態(tài)指示燈。標(biāo)配快速釋放離子濺射鍍膜頭和直徑57mm x 0.1mm的鉻靶、快速釋放金屬蒸發(fā)鍍膜頭,鍍膜頭可互換。標(biāo)配直徑50毫米的晶圓樣品臺。配有用于高真空測量的全量程真空規(guī)組件。
有關(guān)采用三靶鍍制大面積相同材料的膜層,請參閱Q300T T Plus。其它大腔室鍍膜儀,請參閱K975X/K975S以及Q300T D Plus。
儀器特點(diǎn):
• 電容式觸摸屏,靈敏度高,更易觸控使用
• 用戶界面軟件全面更新,使用現(xiàn)代智能手機(jī)技術(shù)界面
• 全面的文字幫助頁面
• USB接口可輕松進(jìn)行軟件更新,也可將配方文件備份/復(fù)制到USB存貯器
• log文件格式為.csv,內(nèi)含日期、時(shí)間和工作參數(shù),可導(dǎo)出至Excel或類似軟件中分析
• 允許多用戶輸入和儲存鍍膜方案,并可根據(jù)最近的使用情況來排列每個(gè)用戶的配方
• 雙核ARM處理器,可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)的顯示;帶觸摸屏按鈕的全圖形界面,包括最近使用的1000個(gè)鍍膜日志和維護(hù)到期時(shí)的提醒等功能
• 全量程真空規(guī)
• 集成的離子濺射、金屬蒸發(fā)和碳蒸鍍一體化系統(tǒng)
• 可選膜厚監(jiān)控附件(FTM),可選高腔室
• 大而多色的LED指示燈,實(shí)現(xiàn)可視化狀態(tài)指示;程序完成后具有音頻聲音提示
推薦應(yīng)用:
• 在大直徑樣品或多個(gè)較小試樣上進(jìn)行金屬蒸發(fā)鍍膜
• 高分辨鍍膜,SEM應(yīng)用
• EDX, WDS, EBSD鍍碳
Q300T ES Plus是英國Quorum出品的國際認(rèn)可的Q系列鍍膜儀的一部分,數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應(yīng)用提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案,Q系列功能多樣、價(jià)格合理且易于使用。這些產(chǎn)品科研用途。
Q Plus系列鍍膜儀也有較小腔室的版本,請參閱:Q150R Plus、Q150T Plus以及Q150V Plus;SC7620和Q150GB也是可選的型號。
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