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CPPSZ真空加熱探針臺

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地濟南市

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更新時間:2024-09-03 08:29:13瀏覽次數(shù):182次

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產品簡介

產品簡介 :產品名稱:真空加熱探針臺產品型號:CPPSSZ32真空度:優(yōu)于5Pa加熱溫度:300℃

詳細介紹


CPPSSZ系列真空加熱探針臺

真空加熱探針臺.jpg

名稱:真空加熱探針臺

型號:CPPSSZ32

外形尺寸:450×600×1200mm(加整體焊接支架)

產品應用:晶圓/半導體材料氣敏測試,IV,CV,PIV測試,高溫無氧化測試等

適用于樣品尺寸:低于4英寸

真空獲得方式:機械泵抽真空

樣品盤加熱溫度:300℃,溫控精度±1℃

測試漏電流精度:100fA

探針調節(jié)精度:10微米(也可選擇5微米,3微米,1微米精度)


                                                    CPPSSZ系列真空加熱探針臺配置單

尺寸320×230×210mm,材質優(yōu)質鋁合金,內表面電解拋光,外表面陽極氧化本色
上蓋40直徑石英觀察窗,可開啟,下表面可以和光學平臺直接連接
配有多個接口,2個KF16,4個KF25,一個備用充氣口,一個旋轉控制閥門,一個放氣閥門口
溫控樣品盤尺寸4英寸,鋁合金材質,平面度5微米
溫控儀采用日本島電溫控器,顯示精度0.1℃,溫控精度±1℃,可達300℃
探針座10微米三維調節(jié),可調磁力底座,萬向調節(jié)夾具,配備美國進口愛默生線和進口三同軸接口
真空獲得以及測量系統(tǒng)采用成都睿寶真空計,安裝1個全金屬電阻規(guī)
真空泵選擇合資機械泵,抽速6L/秒
顯微鏡系統(tǒng)放大倍數(shù)7-180倍無級調節(jié),500萬像素,搭配8寸顯示器,匹配萬向調節(jié)架和升降臺,可以無級調節(jié)





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