產(chǎn)品簡介：在實際的科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實用，成本較低得Mini型探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，光學(xué)底座，探針座，三......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息：

在實際的科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實用，成本較低得Mini型探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，光學(xué)底座，探針座，三維調(diào)整載片臺（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；

主要技術(shù)指標(biāo)：

★結(jié)構(gòu)緊湊，功能實用，質(zhì)量輕巧，方便移動

★可用于6寸以內(nèi)樣品測試

★兼容高倍率電子顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

★漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）

★精密絲杠/燕尾傳動結(jié)構(gòu)，線性移動，精密位移，無回程差設(shè)計

★應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實驗室使用

★1微米以上電極/PAD使用

★模塊化設(shè)計，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊

產(chǎn)品應(yīng)用：

◆LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試（集成我司光電儀器）

◆材料/器件的IV/CV等特性測試

◆晶圓分析測試

技術(shù)參數(shù)：

規(guī)格/參數(shù)
型號		Mini-4A	Mini-6A		Mini-4B		Mini-6B
外形尺寸（LWH）		380×260×355mm	450×300×355mm		380×260×355mm		450×300×355mm
電力需求		220VC,50-60HZ
樣品臺	尺寸	4寸	6寸		4寸		6寸
	行程	三維調(diào)整，XY行程50mm，Z軸行程60mm			整體三維調(diào)整，XY行程100mm，Z軸行程13mm
	移動精度	10μm			5μm
	背電極測試功能	可以引出電極	可以引出電極		可以引出電極		可以引出電極
	定制模塊	可定制位移行程和精度
探針調(diào)整座	XYZ行程	13mm-13mm-13mm
	機(jī)械精度	標(biāo)配10μm，可以升級5μm/3μm/1μm			標(biāo)配3μm，可以升級3μm/1μm
	漏電精度	10pA-100fA（配置屏蔽箱）
	安裝方式	直接磁力吸附/可調(diào)磁力吸附/真空吸附
	接口形式	香蕉插頭/鱷魚夾/同軸BNC/三同軸BNC
光學(xué)成像	放大倍數(shù)	7-200倍（可升級到720倍）
	CCD像素	2000W
	中心距離	140mm，升降范圍270mm，總高度350mm
	顯示器	12寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個屏幕（可升級大尺寸顯微鏡）
可選附件		加熱卡盤		高低溫卡盤		鍍金卡盤
		隔振支架		積分球測試選件		屏蔽箱
		射頻測試附件		導(dǎo)入光源支架		波長單色可調(diào)光纖光源（測光電流）
		顯微鏡調(diào)節(jié)手動/電動調(diào)節(jié)裝置		激光切割顯微鏡		轉(zhuǎn)接頭配件
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺，以達(dá)到更好的使用效果和性價比