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INTELLEMETRICS晶圓視覺系統(tǒng)VS3

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹35年來，我們一直在為光學(xué)涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開發(fā)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)和控制儀器

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

35年來，我們一直在為光學(xué)涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開發(fā)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺系統(tǒng)，專門設(shè)計(jì)用于在負(fù)載鎖定真空蝕刻和沉積室內(nèi)觀察圖案化晶圓，以檢查是否已加載正確的晶圓，并確認(rèn)相對(duì)于掩模圖案的對(duì)齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場(chǎng)，但通常在5mm的工作距離（適用于ICP蝕刻和沉積室）和600mm視場(chǎng)下可以獲得7μm的分辨率。

性能特點(diǎn)