2通道ALD控制單元

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更新時間：2023-02-28 09:11:04瀏覽次數(shù)：227次

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長沙沛鈺進出品貿(mào)易有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳情型號：ALD-GSL-4產(chǎn)品概述：ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系統(tǒng)，包含4通道質(zhì)子流量計進行氣體的混合和輸送，可與本公司任意管式爐或腔體進行DIY，組建一套ALD系統(tǒng)，用于薄膜的制備或者粉末表面的包覆復合

詳細介紹

產(chǎn)品詳情

型號：ALD-GSL-4

產(chǎn)品概述：ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系統(tǒng)，包含4通道質(zhì)子流量計進行氣體的混合和輸送，可與本公司任意管式爐或腔體進行DIY，組建一套ALD系統(tǒng)，用于薄膜的制備或者粉末表面的包覆復合。LCD觸摸屏可方便的對每一通道ALD的脈沖時間以及氣體流量進行控制。

免責聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術參數(shù)等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時和網(wǎng)站不可預知的BUG可能會造成數(shù)據(jù)與實物的偏差，請勿復制或者截圖。如果您對參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細信息及更多參數(shù)，請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，請勿將此參數(shù)用于招標文件或者合同，公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術文檔，說明書（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對大陸地區(qū)客戶，購買前請與工作人員溝通，以免給您帶來不便。

技術參數(shù)實驗案例警示/應用提示配件詳情

工作電壓&功率	AC220V 單相 50/60Hz 100W
PLC觸摸屏	l 通過6″PLC觸摸屏對ALD蒸汽脈沖時間、氣體流量等參數(shù)進行設定控制 l 可控制2個ALD閥門的脈沖時間以及循環(huán)次數(shù)（毫秒級） l 可控制4通道的氣體流量（4通道質(zhì)子流量計，精度±0.2%F.S） l 真空壓力顯示 l 請點擊左圖查看控制界面 l RS485 通訊接口和PC軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制
ALD進氣閥	l 對于兩種前驅體氣體的沉積，需2個ALD進氣閥進行控制（不包含在設備中） l 客戶可使用自己已有的ALD閥或點擊下圖選購本公司ALD閥
流量控制	l 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可用于4路氣體的通入和混合流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM l 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用 l 工作溫度：5~45oC 耐壓:3MPa l 精度: ±1.5% FS 線性: ±1%F.S.重復精度: ±0.2%F.S.
通氣管道	l 內(nèi)置不銹鋼混氣罐 l 內(nèi)部連接管道為1/4"不銹鋼管 l 外部通氣管道為1/4"聚四氟管
混氣罐	Φ80x120mm
截止閥及配件	316不銹鋼針閥 Φ1/4" 不銹鋼管
尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
質(zhì)量認證	CE認證
質(zhì)保期	一年保質(zhì)期，終生維護
可選配件	l 可選購氣液混合裝置用于蒸汽的通入，點擊下圖查看詳情 l 客戶可另外付費由本公司對ALD控制單元以及管式爐系統(tǒng)進行連接組裝。