激光干涉儀

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產品型號SJ6000

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更新時間：2023-04-21 15:16:58瀏覽次數：431次

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產品簡介

簡介激光干涉儀是激光在計量領域中成功的應用之一，是工業(yè)中具的長度測量儀器

詳細介紹

簡介
激光干涉儀是激光在計量領域中成功的應用之一，是工業(yè)中具的長度測量儀器。它可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設備等的在線在位測量、誤差修正和控制。激光干涉儀采用外差干涉測量原理，克服了普通單頻干涉儀測量信號直流漂移的問題，具有信號噪聲小、抗環(huán)境干擾、允許光源多通道復用等諸多優(yōu)點，使得干涉測長技術能真正用于實際生產。

工作原理
1、激光從激光干涉儀出來在分光鏡處分為兩束，一束為參考光由固定角錐反射鏡反射，另一束為測量光由移動反射鏡反射，并與參考光合束，產生干涉；
2、通過干涉環(huán)的增減來判斷移動的角錐反射鏡移動的距離。

產品功能
中圖SJ6000激光干涉儀可以對機床進行靜態(tài)測量和動態(tài)測量。靜態(tài)測量可以進行線性，角度，平面度，直線度和垂直度等測量；動態(tài)測量可以進行速度、加速度分析，振動分析等。

系統(tǒng)性能
²  測量方式：單頻
²  穩(wěn)頻精度：0.05ppm
²  動態(tài)采集頻率：50 kHz
²  預熱時間：5-10分鐘
²  工作溫度范圍：0~40℃
²  環(huán)境溫度范圍：0~40℃
²  存儲溫度范圍：-20℃~70℃

環(huán)境補償示值誤差
²  空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
²  材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
²  空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
²  大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

關鍵詞：激光干涉儀長度測量儀溫度傳感器傳感器壓力傳感器