德國(guó)Marzhauser為用戶(hù)提供的納米Z軸載物臺(tái)（Piezo Z-Stage），具有緊湊型結(jié)構(gòu)，最小步進(jìn)1nm，行程500μm。納米Z軸平臺(tái)可裝載在SCAN IM系列產(chǎn)品上，通過(guò)TANGO控制器實(shí)現(xiàn)操控，也可裝載在手動(dòng)測(cè)量平臺(tái)上使用，允許集成SCD數(shù)顯以顯示XYZ三軸數(shù)據(jù)。

詳細(xì)介紹

最小步進(jìn)1nm，行程500μm的納米Z軸載物臺(tái)

德國(guó)Marzhauser所提供電動(dòng)Z軸選擇，不僅僅是Z軸電動(dòng)馬達(dá)，還提供納米精度的單軸顯微鏡載物臺(tái)Piezo Z-Stage，該設(shè)備適用于部分需要更高精度設(shè)備或是需要集成搭建的用戶(hù)。

納米Z軸平臺(tái)具有高速運(yùn)行特點(diǎn)以及高分辨率的樣品定位功能，通過(guò)在光軸上精準(zhǔn)，快讀的移動(dòng)并允許在幾毫秒的時(shí)間內(nèi)調(diào)整樣品，并在納米范圍內(nèi)精準(zhǔn)的實(shí)現(xiàn)電動(dòng)聚焦功能，同時(shí)大孔徑設(shè)計(jì)使用于多種不同的樣品架安裝，從標(biāo)準(zhǔn)載波片到微滴度板都可以裝載使用。

無(wú)論是Piezo Z-Stage還是Piezo Z-Stage 500 μm均可與德國(guó)Marzhauser的SCAN IM系列倒置顯微鏡電動(dòng)載物臺(tái)相兼容，其中Piezo Z-Stage 500 μm相比Piezo Z-Stage擁有更高的行程及精度，可做到最小步進(jìn)1 nm，行程500 μm。納米Z軸載物臺(tái)需匹配獨(dú)立的操作桿和控制器，獨(dú)立控制器可保證該平臺(tái)運(yùn)行的平穩(wěn)以及控制需求，僅納米平臺(tái)、控制器和操作桿三個(gè)部件即可完成獨(dú)立運(yùn)行，操作桿可顯示當(dāng)前位置數(shù)據(jù)，方便用戶(hù)記錄觀測(cè)，同時(shí)可將Piezo Z-Stage與SCD相連接，實(shí)現(xiàn)XYZ三軸位置信息的讀取。

Piezo Z-Stage

行程300μm，閉環(huán)高精度納米Z軸載物臺(tái)。

規(guī)格	USB/ANALOG IN
行程	300 μm
分辨率	4 nm / 18 nm
重復(fù)性	4 nm / 18 nm（單向）
線(xiàn)性度	0.5 % / 2.5 %
穩(wěn)定時(shí)間（空載/負(fù)載）	25 ms
負(fù)載	500 g
運(yùn)行方式	閉環(huán)運(yùn)行
重量	1 kg（包括2 m連接電纜）

Marzhauser Piezo Z-Stage特點(diǎn)：

-與SCAN IM系列產(chǎn)品中幾乎所有的Marzhauser Wetzlar掃描臺(tái)相兼容

-壓電放大器Nano-Drive®C與帶有AUX I / O接口的TANGO控制器直接連接

-只需一個(gè)操作裝置（例如操縱桿）即可舒適地操作完整的定位系統(tǒng)

-行程高達(dá)300μm的高速壓電Z軸運(yùn)動(dòng)

-直接插入孔板，無(wú)需額外的工作臺(tái)插件

-超大手柄凹槽，可輕松處理帶蓋的孔板

-隨附的用于輕松進(jìn)行偏置校準(zhǔn)的測(cè)量?jī)x器

Piezo Z-Stage 500 μm規(guī)格參數(shù)

行程500μm，1nm最小步進(jìn)高精度納米Z軸載物臺(tái)。

規(guī)格
行程	500 μm
分辨率	1 nm（最小步進(jìn)）
重復(fù)性	± 5 nm（單向）
線(xiàn)性度	＜0.05 %
承重	1.5 kg
位置傳感器	電容
運(yùn)行方式	閉環(huán)運(yùn)行
接口	USB, RS-232, CAN, Trigger In/Out, Analog In (0–10 V DC)
重量	1 kg