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Teledyne HFM-D-300A/B 質(zhì)量流量計(jì)和HFC-D-302A/B 質(zhì)量流量控制器

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HFM-D-300A質(zhì)量流量計(jì)，流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm；HFC-D-302A質(zhì)量流量控制器，流量范圍0-5 sccm到0-25 slm

詳細(xì)介紹

Teledyne HFM-D-300A/B 質(zhì)量流量計(jì)和HFC-D-302A/B 質(zhì)量流量控制器

HFM-D-300A/B質(zhì)量流量計(jì)，流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm

HFC-D-302A/B質(zhì)量流量控制器，流量范圍0-5 sccm到0-25 slm

全金屬，快速響應(yīng)，精確度高！

質(zhì)量流量技術(shù)提供可靠，可重復(fù)和準(zhǔn)確的氣體流速測(cè)量。

Teledyne HFM-D-300A / HFC-D-302A質(zhì)量流量?jī)x器的流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm; 使用所有金屬密封件，提供模擬和數(shù)字輸出，并由不銹鋼制成。通過基于Windows的軟件界面提供簡(jiǎn)單，用戶友好的數(shù)字通信。

數(shù)字功能中包含傳感器，閥門和溢流的自診斷功能。同樣令人感興趣的是自動(dòng)調(diào)零功能，它可以檢測(cè)閥門何時(shí)關(guān)閉并自動(dòng)重置零點(diǎn)。這些質(zhì)量流量計(jì)和控制器可以存儲(chǔ)多達(dá)10種不同范圍和氣體的校準(zhǔn)。另一個(gè)功能是內(nèi)置累加器，用于監(jiān)控用戶設(shè)定條件下的燃?xì)馐褂们闆r。

±（讀數(shù)的0.5％+滿量程的0.2％）精度

應(yīng)用和行業(yè)

泄漏測(cè)試

薄膜沉積

高純度氣體輸送

熱火焰噴涂

氣體混合

制藥工藝

Teledyne HFM-D-300A/B質(zhì)量流量計(jì)

范圍：/t0-5 sccm到0-25 slm（N 2）

準(zhǔn)確性：/t+（讀數(shù)的0.5％+滿量程的0.2％）

重復(fù)性：/t+ 0.15％的FS