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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產品型號TS-PL15MA
品 牌
廠商性質其他
所 在 地
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更新時間：2022-11-26 18:17:18瀏覽次數(shù)：224次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線產品介紹 TS-PL15MA/P晶圓刻蝕機高配版1.真空腔規(guī)格:材質316不銹鋼L270mm*W280mm*H200mm2.電極：平板氣浴電極
TS-PL15MA/P 晶圓刻蝕機高配版
1.真空腔規(guī)格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3. 電極尺寸：230mm *230mm（可處理產品尺寸，可處理8寸晶圓）
4. 頻率：13.56MHz
5. 功率：0-300W連續(xù)可調，可在設備運行中隨時調整參數(shù)。
6. 氣體控制：MFC質量流量計， 0-500ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關（SMC）
8. 控制方式：7寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)
10.設備規(guī)格尺寸：長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置：配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調整，可按需求調整極板位置
TS-PL15MA 晶圓刻蝕機標準版
1.真空腔規(guī)格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3. 電極尺寸：230mm *230mm（可處理產品尺寸，可處理8寸晶圓）
4. 頻率：13.56MHz
5. 功率：0-300W連續(xù)可調，可在設備運行中隨時調整參數(shù)。
6. 氣體控制：精密針閥式浮子流量計， 0-1000ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關（SMC）
8. 控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)
10.設備規(guī)格尺寸：長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置：配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調整，可按需求調整極板位置
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