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行業(yè)產(chǎn)品

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堀場儀器（上海）有限公司


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直接注入 VC 系列

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間：2022-08-12 14:33:25瀏覽次數(shù)：129次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：80條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

直接注入 VC 系列

詳細(xì)介紹

  • 概要
  • 規(guī)格

概要

由于是無載體類型，所以可以構(gòu)筑小型氣化系統(tǒng)

由于通過質(zhì)量流量來測定發(fā)生量，所以可以不必受到溫度?壓力的影響進(jìn)行液體材料的氣化供給。

特征

  • 超小型 ： 只有原來的1/5
  • 高速*氣化 ： 可以瞬間*氣化被供應(yīng)的液體。
  • 安裝固定方向自由 ：無論在哪一個(gè)安裝固定方向，都可以保持相應(yīng)功能。
  • 不需要?dú)馀菔饺萜?、氣化容?

規(guī)格

VC-1310

產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí))

不滿1.0 CCM (液相的換算) ※1

對(duì)象液體種類

會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外

可升溫溫度

值.150℃

接氣部材質(zhì)

SUS-316L (PTFE)

耐壓

1.0MPa(G)

VC-1310

產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí))

值.5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1

對(duì)象液體種類

會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外

或升溫溫度

值.150℃

接氣部材質(zhì)

SUS-316L (PTFE)

耐壓

1.0MPa(G)

※1　不同的液體種類將會(huì)有所差異。請(qǐng)進(jìn)行咨詢協(xié)商。

產(chǎn)品相關(guān)圖及其它

Dimensions of Direct Liquid Injection System


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