1) 采用剛性好的固定橋式結(jié)構(gòu)，具有 精度、 性能和 穩(wěn)定性的優(yōu)點(diǎn)；

2) 四軸均采用精密滾珠絲杠傳動(dòng)，具有剛性高，反向間隙小、傳動(dòng)精度高的特點(diǎn)；

3) 采用優(yōu)質(zhì)花崗巖空氣軸承導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，熱膨脹系數(shù)小，導(dǎo)向精度高，運(yùn)行平穩(wěn)；

4)  Y向采用燕尾式氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì)，使其在X、Z方向具有較強(qiáng)的抗扭強(qiáng)度；

5) Z軸采用*技術(shù)的氣浮套結(jié)構(gòu)，偏置力矩小，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；

6) 光柵尺采用進(jìn)口精度插槽式光柵尺；

7) 配備5環(huán)8區(qū)四色環(huán)形光源、輪廓光源、同軸光源，可控光源系統(tǒng)，智能實(shí)現(xiàn)光源亮度調(diào)節(jié)。