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固體射頻裂解源

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產(chǎn)品簡介

應(yīng)用 應(yīng)用：射頻(300W)裂解蒸發(fā)物質(zhì)并可多種氣體(Ar;Ne;N2; H2 etc

詳細(xì)介紹


應(yīng)用
應(yīng)用：射頻(300W)裂解蒸發(fā)物質(zhì)并可多種氣體(Ar;Ne;N2; H2 etc.)混合激發(fā)形成等離子體以實(shí)現(xiàn)多元素化合物薄膜生長的生長或摻雜
技術(shù)指標(biāo)
*型號(hào)：RFK30
*蒸發(fā)裂解如磷；砷；硒 和硫等多原子態(tài)固體為以單原子為主流的活性束流
*蒸發(fā)區(qū)域（30cc）具有獨(dú)立的溫控功能( max 450C),通過溫度可控制固態(tài)物質(zhì)的蒸發(fā)流量
*高效水冷，低系統(tǒng)熱載，適用于熱敏化合物的生長或摻雜
*束流穩(wěn)定監(jiān)測及回控系統(tǒng)
*可實(shí)現(xiàn)射頻自動(dòng)匹配單元和等離子體監(jiān)控的計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制

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