電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，簡稱ICP光譜儀，因為具有高靈敏度，高精密度，低基體效應(yīng)和具有一起多元素剖析能力等一系列特色，自產(chǎn)品呈現(xiàn)以來，很快在各剖析范疇得到廣泛應(yīng)用，變成資料、環(huán)境、地礦、冶金、食物、化工、生化、產(chǎn)品檢驗及科研范疇通用的無機元素剖析東西。
ICP光譜儀是以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。它由一個入射狹縫，一個色散系統(tǒng)，一個成像系統(tǒng)和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區(qū)域，并在選定的波長上進行強度測定。
構(gòu)成：
一臺典型的ICP光譜儀主要由一個光學(xué)平臺和一個檢測系統(tǒng)組成。包括以下幾個主要部分：
1.入射狹縫：在入射光的照射下形成成像系統(tǒng)的物點。
2.準(zhǔn)直元件：使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄狻Ｔ摐?zhǔn)直元件可以是一獨立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上。
3.色散元件：通常采用光柵，使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。
4.聚焦元件：聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點對應(yīng)于一特定波長。
5.探測器陣列：放置于焦平面，用于測量各波長像點的光強度。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測器陣列。
ICP光譜儀應(yīng)具有以下功能：
1.分光：把被研究光按一定波長或波數(shù)的發(fā)布規(guī)律在一定空間內(nèi)分開。
2.感光：將光信號轉(zhuǎn)換成易于測量的電信號，相應(yīng)測量出各波長光的強度，得到光能量按波長的發(fā)布規(guī)律。
3.繪譜線圖：把分開的光波及其強度按波長或波數(shù)的發(fā)布規(guī)律記錄保存或顯示對應(yīng)光譜圖。
