熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是測量氣體流量的儀器。它可以測量氣體、空氣、氮體、空氣、氮?dú)?、乙炔、光氣、氫氣、天然氣、氮?dú)?、液化石油氣、過氧化氫、煙氣、甲烷、丁烷、氯氣、氣體、沼氣、二氧化碳、氧氣、壓縮空氣、氬氣、甲苯、苯、苯、二甲苯、硫化氫、二氧化硫、氨等。因此，該流量計(jì)已廣泛應(yīng)用于石油、化工、半導(dǎo)體、醫(yī)療儀器、生物工程、燃燒控制、氣體分配、環(huán)境監(jiān)測、精密儀器、科研、測量、食品、冶金、航空航天等領(lǐng)域。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的原理是什么？流量計(jì)實(shí)際上采用了熱擴(kuò)散原理，是一種在惡劣條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。熱氣體質(zhì)量流量計(jì)的典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻（鉑RTD），一個(gè)是速度傳感器，另一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD放置在介質(zhì)中時(shí)，速度傳感器被加熱到高于環(huán)境溫度的恒定溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。通過速度傳感器的氣體質(zhì)量流量由傳感器元件的傳熱量計(jì)算。氣體流量計(jì)的氣體流量增加，介質(zhì)帶走的熱量增加。傳感器的溫度相應(yīng)地降低了。為了保持溫度恒定，氣體流量計(jì)必須通過傳感器增加工作電流，電流增加的部分與介質(zhì)流量成正比。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)介質(zhì)溫度：熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)基于熱擴(kuò)散原理設(shè)計(jì)而成，流量計(jì)的探針是根據(jù)被測介質(zhì)溫度來決定探針加熱溫度的，一般探針加熱溫度比介質(zhì)溫度高50度。由此可以看出，流量計(jì)在正常測量時(shí)要求被測介質(zhì)溫度較為恒定，此時(shí)加熱電流與介質(zhì)流量成
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)比例關(guān)系；直接式的工作原理往往和介質(zhì)的質(zhì)量(密度)相關(guān)，即直接測出與ρν成比例的信號(hào)。目前運(yùn)用較多的直接式質(zhì)量流量計(jì)有:利用科里奧利原理的質(zhì)量流量計(jì)和利用流體與固體的熱能交換原理的熱式流量計(jì)。前者只能用于液體介質(zhì)測量，后者多用于氣體介質(zhì)測量。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)直接測量通過流量計(jì)的介質(zhì)的質(zhì)量流量，還可測量介質(zhì)的密度及間接測量介質(zhì)的溫度。質(zhì)量流量計(jì)是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是根據(jù)科里奧利原理制成，適用于所有過程技術(shù)分支中的大范圍連續(xù)流量測量應(yīng)用。液體質(zhì)量流量計(jì)不僅能直接測量和顯示被測介質(zhì)的溫度和密度，還可顯示被測介質(zhì)的質(zhì)量流量，后者與被測介質(zhì)的其他參數(shù)如密度、溫度、壓力和流動(dòng)狀態(tài)無關(guān)。
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