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深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ 返回列表頁

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產(chǎn)品簡介

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
支持W（鎢）/Ni（鎳）/Cr（鉻）/Ti（鈦）等成膜的DC濺射設(shè)備
使用磁控管陰極
內(nèi)置微機(jī)，高精度控制成膜過程
操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)2種模式
標(biāo)配自動(dòng)快門機(jī)構(gòu)

詳情介紹

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

特征

支持W（鎢）/Ni（鎳）/Cr（鉻）/Ti（鈦）等成膜的DC濺射設(shè)備
使用磁控管陰極
內(nèi)置微機(jī)，高精度控制成膜過程
操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)2種模式
標(biāo)配自動(dòng)快門機(jī)構(gòu)

應(yīng)用/結(jié)果示例

W/Ni/Cr/Ti等的成膜
燃料電池基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

基本規(guī)格

陰極	φ2寸磁控陰極
快門機(jī)制	自動(dòng)/手動(dòng)操作
氣體引入機(jī)制	針閥（自動(dòng)/手動(dòng)控制）
真空泵	直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：100l/min（帶自動(dòng)漏氣）
腔室尺寸	內(nèi)徑φ160mm x D160mm（SUS制）
樣品交換方式	前門開閉式
尺寸（寬/深/高）	機(jī)身： 360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm
重量	身體：20kg RP：23kg