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Tokyo Keiso VF3000流量傳感器:半導(dǎo)體制造流程的理想選擇

時(shí)間:2025-5-9閱讀:138
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  在半導(dǎo)體制造過程中,對(duì)超純水、水、低粘度藥液等的流量管理至關(guān)重要。為此,日本Tokyo Keiso公司推出了VF3000系列渦街流量傳感器,該產(chǎn)品以其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、清潔度高而著稱,非常適合用于這些精密流體的流量控制。
 
  產(chǎn)品特點(diǎn)
 
  VF3000流量傳感器采用PFA(全氟烷氧基樹脂)材質(zhì),這種材料以其優(yōu)異的耐腐蝕性和純凈度而廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。傳感器的設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,易于清潔,有助于維持流體的超純度,避免污染。此外,VF3000還具有以下特點(diǎn):
 
  高清潔度:所有接觸流體的部分均采用PFA材質(zhì),確保了流體的純凈度。
 
  寬流量范圍:能夠測(cè)量從0.3升/分鐘到150升/分鐘的流量,適用于多種應(yīng)用場(chǎng)景。
 
  高可靠性:采用卡爾曼渦旋檢測(cè)方法,提高了測(cè)量的準(zhǔn)確性和可靠性。
 
  低壓降:設(shè)計(jì)優(yōu)化,減少了流體通過時(shí)的壓力損失。
 
  維護(hù)簡(jiǎn)便:由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,減少了維護(hù)需求。
 
  技術(shù)規(guī)格
 
  VF3000系列流量傳感器的技術(shù)規(guī)格如下:
 
  測(cè)量流體:超純水、純水、水、低粘度化學(xué)品。
 
  流體溫度:0 ~ 90°C。
 
  流體壓力:0 ~ 0.5 兆帕。
 
  流量范圍:根據(jù)型號(hào)不同,從0.3升/分鐘到150升/分鐘不等。
 
  精度:±3% F.S.。
 
  材料:身體和管道采用新PFA,接頭可采用PFA或NewPFA,渦旋探測(cè)器采用壓電元件(用新PFA模制)。
 
  過程連接:PFA管端或各種接頭,連接管尺寸根據(jù)型號(hào)不同而有所差異。
 
  輸出:提供電流輸出、脈沖輸出和帶電流/報(bào)警輸出的顯示模式。
 
  電源:直流10.8 ~ 26.4V、0.5 ~ 2W。
 
  防護(hù)等級(jí):IP64(JIS C0920 防睫毛結(jié)構(gòu))。
 
  應(yīng)用場(chǎng)景
 
  VF3000系列流量傳感器適用于半導(dǎo)體制造過程中的超純水、水、低粘度藥液等的流量管理。此外,它還適用于需要高清潔度的其他工業(yè)應(yīng)用,如制藥、食品加工等。
 
  結(jié)論
 
  Tokyo Keiso的VF3000系列流量傳感器以其高清潔度、寬流量范圍和高可靠性,成為半導(dǎo)體制造過程中理想的流量控制解決方案。其簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)和優(yōu)異的性能使其在多種工業(yè)應(yīng)用中都能發(fā)揮重要作用。
 

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