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閱讀：114發(fā)布時(shí)間：2023-9-6
造紙廠廢氣處理設(shè)備之半導(dǎo)體廢氣處理
隨著信息時(shí)代的到來，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也在快速發(fā)展。半導(dǎo)體制造商給社會(huì)帶來的經(jīng)濟(jì)效益和就業(yè)率是顯而易見的，但隨之而來的是空氣污染。因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)需要清潔操作室。要求，通常采用風(fēng)機(jī)提取過程中揮發(fā)性的各種廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣排放具有排放量大、排放濃度小的特點(diǎn)。
主要成分：半導(dǎo)體工業(yè)廢氣主要為4種有機(jī)廢氣和酸堿廢氣。有機(jī)物有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿有：氨硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。主要來源：半導(dǎo)體行業(yè)造成環(huán)境污染的有害氣體主要來自芯片或電路板生產(chǎn)的清潔、均膠、去膠、蝕刻和顯影過程。主要危害：半導(dǎo)體行業(yè)主要是由于使用了一些化學(xué)物質(zhì)（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、、三氯、乙烷等化學(xué)物質(zhì)。和其他有機(jī)鹵化物)揮發(fā)對(duì)大氣環(huán)境造成污染，機(jī)械噪聲和整機(jī)裝配過程中產(chǎn)生的少量粉塵也會(huì)造成環(huán)境污染，導(dǎo)致慢性或急性中毒。
工作原理：待處理的有機(jī)混合廢氣通過引風(fēng)機(jī)作用，先通過預(yù)處理過濾裝置去除廢氣中的灰塵和雜質(zhì)，否則直接吸附會(huì)堵塞沸石的微縮孔，從而影響吸附效果。初步過濾后，相對(duì)純凈的有機(jī)廢氣進(jìn)入沸石輪吸附裝置進(jìn)行吸附凈化處理，有機(jī)物被轉(zhuǎn)輪沸石的力攔截，清潔氣體排出。沸石轉(zhuǎn)輪脫附的高濃度廢氣直接進(jìn)入TO直燃焚燒爐進(jìn)行焚燒凈化處理。
廢氣焚燒后，爐內(nèi)燃燒室的高溫氣體和內(nèi)部熱交換器進(jìn)行熱交換制在300-350℃左右進(jìn)入燃燒室燃燒，燃燒后，內(nèi)部熱交換器冷卻后進(jìn)入尾部二次煙氣余熱利用裝置，d級(jí)余熱利用裝置用于脫附，加熱后的清潔氣體進(jìn)入轉(zhuǎn)輪脫附區(qū)，沸石中的有機(jī)物在熱空氣加熱后從沸石中揮發(fā)，此時(shí)脫附廢氣濃度高，風(fēng)量小，高溫有機(jī)廢氣進(jìn)入二次煙氣余熱利用裝置，二次提高廢氣溫度，進(jìn)入TO焚燒爐焚燒處理，再次降低TO焚燒爐焚燒的運(yùn)行成本。實(shí)現(xiàn)真正的節(jié)能和環(huán)保。同時(shí)，整個(gè)設(shè)備安裝q，可靠，無二次污染。
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