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蘇州星源潔凈環(huán)境科技有限公司

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凈化車間無塵室氣流分類

2021-1-3  閱讀(2288)

 凈化車間無塵室氣流分類星源潔凈為你解說

 

在無塵車間的設計和改造過程中,無塵室氣流有很多種,每種方式都有他的優(yōu)點和缺點,在無塵室設計時一定要根據(jù)現(xiàn)場的實際情況進行選擇!一般無塵室分類,無塵室氣流分類,可分為以下幾種,把這幾種氣流方式弄清楚后,就更加容易進行凈化車間設計,無塵室設計了。這頁同時也介紹了無塵室換氣次數(shù)。
層流式:
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,此種型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100??諝庥筛采w率之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。
層流式又分為水平層流式和垂直層流式:
    A,水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴重。

優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。
   B,垂直層流式:在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域,房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度。
       優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。

是亂流式
亂流式的空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵室內(nèi)的高效空氣過濾器確進入無塵室,并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多,凈化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,無塵室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。

缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。

復合式: 復合式是層流式和亂流式復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
 

A,潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。

此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

B,潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

C,并裝局部無塵室(Clean Spot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

  

 

 

 



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