探針臺(tái)專注于物理、化學(xué)和材料等領(lǐng)域的科學(xué)儀器研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)為一體的綜合型高科技企業(yè)。為廣大科研工作者提供磁性、低溫、高溫、真空、的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
自2011年成立至今，已研發(fā)出各種類型的電磁鐵、液氮型低溫恒溫器、液氦型超低溫恒溫器、制冷機(jī)系統(tǒng)集成、高溫真空磁場(chǎng)退火爐系統(tǒng)、Helmholtz線圈全套解決方案、高穩(wěn)定性雙極性電源、霍爾測(cè)量系統(tǒng)、電輸運(yùn)測(cè)量系統(tǒng)、磁光克爾測(cè)試系統(tǒng)、高低溫磁場(chǎng)真空探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)等，并可根據(jù)用戶需求，定制出各種類型的實(shí)驗(yàn)產(chǎn)品。
這些產(chǎn)品可以用于很多領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體，微機(jī)電系統(tǒng)，超導(dǎo)體，電子學(xué)，鐵電體，材料學(xué)，物理學(xué)和光學(xué)等。低溫探針可用于桌面或獨(dú)立系統(tǒng)，包括一個(gè)使用液氦或液氮（溫度范圍從低于4K到475K，可選600K）的超高效率連續(xù)流系統(tǒng)，且提供不對(duì)樣品造成任何振動(dòng)的快速冷卻法。探測(cè)設(shè)備使用典型的單系統(tǒng)四探針法（也支持雙探針，六探針或八探針）測(cè)量直流脈沖，低頻率信號(hào)或微波信號(hào)或同時(shí)使用兩種信號(hào)。我們制造的每套系統(tǒng)都采用標(biāo)準(zhǔn)的品質(zhì)工藝。所生產(chǎn)的產(chǎn)品已經(jīng)成為您所有的對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)和定制低溫系統(tǒng)的需求的Z佳選擇。
※探針臺(tái)選型注意事項(xiàng)
※Z大需要測(cè)幾inch的晶圓或者器件？是否需要測(cè)試破片或者單顆芯片，Z小的單顆芯片尺寸？
※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？
※點(diǎn)測(cè)樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路？
※Z多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？
※是否會(huì)用到探針卡測(cè)試？
※光學(xué)顯微鏡的Z小分辨率需要用到多少？
※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)？
※探針點(diǎn)測(cè)時(shí)，對(duì)電流的要求是否達(dá)到100fa或者以下？低
電容要求是否要做到0.1pf？是否有射頻需求？
※接駁的測(cè)試儀器接口有哪些？
※測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？
※對(duì)chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？
※是否需要防震桌？
※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？
高低溫真空探針臺(tái)
探針臺(tái)產(chǎn)品概述：
可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試（4.2K~500K），可升級(jí)加載磁場(chǎng)，低溫防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品臺(tái)采用高純度無(wú)氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二極管作為測(cè)溫裝置，支持光纖光譜特性測(cè)試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)，器件的高頻特性(支持Z高67GHz頻率)，探針熱沉設(shè)計(jì)，LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試，自動(dòng)流量控制，材料/器件的IV/CV特性測(cè)試等。
探針臺(tái)應(yīng)用范圍：
高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等。
探針臺(tái)可選附件：
þ 防震桌
þ 多級(jí)壓縮制冷機(jī)
þ 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵
þ 射頻部件
þ 各類型頻率真空接頭
þ 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線等…
þ 各類探針夾具
þ Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
þ 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
þ 1Mpa正壓系統(tǒng)
þ 超高溫升級(jí)選件
þ 超高真空升級(jí)選件
探針臺(tái)技術(shù)指標(biāo)：
型號(hào) | T81-50探針臺(tái) | T80-50探針臺(tái) |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 閉循環(huán)制冷機(jī) |
腔體材質(zhì) | 無(wú)磁不銹鋼或者鋁合金 |
真空度 | Z高真空10-8Pa |
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch（可選） |
控溫范圍 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控溫分辨率 | 0.001K控溫儀相關(guān) |
溫度穩(wěn)定性 | 0.1K控溫儀相關(guān) |
降溫時(shí)間 | 40min | 150min內(nèi)，視制冷機(jī)功率定 |
溫度傳感器 | 硅二極管、PT100（3個(gè)，樣品臺(tái)和探針臂和防輻射屏上各一個(gè)） |
加熱電源 | LVDC 低壓直流 |
樣品臺(tái)材質(zhì) | 鍍金無(wú)氧銅 |
樣品臺(tái)尺寸 | 直徑20-50mm，可選100mm |
樣品臺(tái)平整度 | ≤7μm |
樣品臺(tái)固定方式 | 固定的樣品臺(tái)（可升級(jí)隨位移臺(tái)移動(dòng)） |
樣品臺(tái)振動(dòng)級(jí)別 | ≤50納米 | ≤1μm（三級(jí)減震） |
探針臂數(shù)量 | 2個(gè)、4個(gè)、6個(gè)、8個(gè)可選 |
探針臂機(jī)械精度 | ±12.5mm(可升級(jí)±25mm),精度1μm（可選） |
探針種類 | 鎢、鈹銅、微波探針（可選高達(dá)67GHz的GSG探針） |
探針調(diào)節(jié) | 真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動(dòng)控制 |
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X |
顯微鏡行程 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm |
電力需求 | 220V 50-60Hz |
探針臺(tái)武漢賽斯特儀器廠家生產(chǎn)
探針臺(tái)武漢賽斯特儀器廠家生產(chǎn)
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