是一種用于制取高純度氮?dú)獾脑O(shè)備，它能夠?qū)⒖諝庵械碾s質(zhì)去除，使得生成的氮?dú)馄焚|(zhì)更加穩(wěn)定和可靠。因此，在許多領(lǐng)域都有著廣泛應(yīng)用，比如在電子、化學(xué)、醫(yī)藥等行業(yè)。
一、儀器基本原理
1、空壓機(jī)：利用空壓機(jī)對(duì)大量空氣進(jìn)行壓縮，并存放在儲(chǔ)罐內(nèi)。
2、制冷系統(tǒng)：通過制冷系統(tǒng)降低空氣溫度并凝結(jié)其中的水分。
3、分離裝置：分離出水分及其它雜質(zhì), 以獲得較為純凈且穩(wěn)定的高品質(zhì) 氧/ 氮混合物。
4、儲(chǔ)存裝置：將產(chǎn)生的高品質(zhì) 氧/ 氮混合物儲(chǔ)存在容積足夠大、安全性良好同時(shí)易于管理與使用 的儲(chǔ)罐內(nèi)。
二、使用方法
1、接通電源和管道后，打開控制面板上相應(yīng)按鈕來啟動(dòng)設(shè)備。
2、調(diào)整輸出流量和壓力值至所需范圍之內(nèi)，并開始運(yùn)行設(shè)備。
3、在正常操作時(shí)，請(qǐng)監(jiān)測(cè)各項(xiàng)指標(biāo)是否處于規(guī)定范圍內(nèi)，如有異常請(qǐng)及時(shí)處理。
4、在設(shè)備停止工作或者需要更換配件的時(shí)候，請(qǐng)注意安全操作。
三、使用注意事項(xiàng)
1、使用前，進(jìn)行相關(guān)規(guī)范的檢測(cè)和校準(zhǔn)以確保儀器正常運(yùn)行，并記錄好相應(yīng)參數(shù)。
2、設(shè)備只能由專業(yè)人員操作，并且要按照正確程序進(jìn)行操作。不得隨意開啟或強(qiáng)制關(guān)閉系統(tǒng)等危險(xiǎn)行為。
3、避免長期在高溫、潮濕環(huán)境下使用氮?dú)獍l(fā)生器, 應(yīng)定期對(duì)其外殼清潔并加以防腐護(hù)理.
4、將設(shè)備維修與大型維護(hù)服務(wù)委托給資質(zhì)服務(wù)機(jī)構(gòu)完成，并按照規(guī)定周期進(jìn)行日常保養(yǎng)維修工作。
四、適用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè): 在微電子制造過程中，氮?dú)獗粡V泛應(yīng)用于DRIE(深刻蝕刻), LPCVD(低壓化學(xué)汽相沉積), CVD (化學(xué)汽相沉積) 等一系列關(guān)鍵技術(shù)中。同時(shí)也可以用于晶圓盒封裝后的干燥和存放過程中。
2、化學(xué)實(shí)驗(yàn)：用氫/ 氦載氧火焰離子色譜儀時(shí)，就是一個(gè)重要的配件。
3、醫(yī)藥制造：在醫(yī)藥制造過程中, 氮?dú)馔挥米饕环N干燥和保護(hù)性載體。
氮?dú)獍l(fā)生器是實(shí)驗(yàn)室中常見設(shè)備之一，在許多領(lǐng)域都有著廣泛應(yīng)用。溫馨提示大家在使用過程中要注意安全問題，并按照操作規(guī)范進(jìn)行相應(yīng)的維護(hù)與保養(yǎng)工作。
