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桌面型納米壓印機(jī)

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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

超緊湊機(jī)光刻技術(shù)實(shí)際上是一種精密表面加工技術(shù)，它借助于一定波長的激光光源以及選擇性的化學(xué)腐蝕和刻蝕技術(shù)把設(shè)計(jì)的微納圖案轉(zhuǎn)移到硅基板上

詳細(xì)介紹

超緊湊機(jī)

光刻技術(shù)實(shí)際上是一種精密表面加工技術(shù)，它借助于一定波長的激光光源以及選擇性的化學(xué)腐蝕和刻蝕技術(shù)把設(shè)計(jì)的微納圖案轉(zhuǎn)移到硅基板上。但是隨著集成電路功能和密度的提升傳統(tǒng)的光刻技術(shù)已經(jīng)難以滿足當(dāng)前對線寬越來越小的需求。但是打破衍射極限的大型光刻設(shè)備又極其昂貴。為了擺脫光學(xué)衍射極限和克服高成本的限制，一種操作簡單，成本低廉的納米壓印技術(shù)產(chǎn)生了。納米壓印的技術(shù)核心是充分利用機(jī)械能將剛性模板上的圖案轉(zhuǎn)到抗蝕劑上，之后再借助溶脫、剝離、刻蝕等將圖案轉(zhuǎn)移到基板上。到目前為止壓印技術(shù)已經(jīng)發(fā)展出來多種類型，典型的包括熱塑壓印技術(shù)、紫外固化壓印、微接觸納米壓印、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術(shù)等。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的納米壓印機(jī)AU-CUI為熱壓印和紫外固化壓印設(shè)備。

AU-CNI納米壓印機(jī)是一款桌面大小的納米壓印和熱壓成型的機(jī)器。它可以用于微米或納米結(jié)構(gòu)的壓印成型。AU-CNI不但可以進(jìn)行熱壓印還可以進(jìn)行UV壓印。

對于熱壓印首先設(shè)備通過施加壓力使模板與基板緊密接觸，加壓范圍可達(dá)到11bar，通常依據(jù)溫度控制壓印過程。溫度可達(dá)到200℃，由于采用原位實(shí)時(shí)測量溫度，因此控溫精度可達(dá)到1℃。

UV曝光采用4個(gè)365nm的LED光源，組合光的功率可達(dá)到11.6W，LED的溫度被實(shí)時(shí)檢測，擁有過熱保護(hù)功能，即使出現(xiàn)過熱的現(xiàn)象也可以確保曝光劑量正確。

此外設(shè)備擁有簡潔的操作軟件。通過軟件可以控制壓印的溫度、壓力、曝光時(shí)間等參數(shù)。并且可以編輯并存儲在該軟件中。

AU-CUI其操作簡單，功能強(qiáng)大，易于實(shí)現(xiàn)新的實(shí)驗(yàn)和非標(biāo)準(zhǔn)的加工。是納米壓印的工具。

u 壓印圖案例：

u 產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 操作簡單

l 即插即用

l 結(jié)構(gòu)緊湊

l 多種用途

u 主要應(yīng)用

l 微米/納米結(jié)構(gòu)的壓印

l 高縱橫比結(jié)構(gòu)的壓印

l 聚合物的熱壓印

l 壓印模板制作

u 產(chǎn)品參數(shù)

Pressure	Imprint pressure from 0.3 - 11 bar overpressure
Temperature	Up to 200oC with control of +/- 1oC
UV exposure	UV led light with 365 nm wavelength and optical power of 11600 mW
Vacuum	The imprint chamber can be evacuated down to pressure below 1 mbar
Size of imprint chamber	Diameter of 100 mm and height of 20 mm (can be expanded up to 45 mm)
Automated replication process	1）Stamp and substrate are loaded manually 2）Replication process is fully automated and controlled through CNI software
Software	Full process control and flexibility. Everything besides loading and unloading is handled by the software
CNI customization	CNI can be modified to meet individual requirements
On-line video instructions	On-line video installation and operation guides
Optional	1）Pressure booster to boost a lab compressed air supply from 3-5 bar to 6-10 bar 2）Training and/or installation by NILT personnel