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GCIB10S 離子源系統(tǒng)

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GCIB10S是一種高性能10千伏氣體團(tuán)簇離子束,用于快速、低損傷濺射和更高質(zhì)量的表面分析。GCIB 10S提供了大量有用的功能,包括實(shí)時(shí)集群大小測(cè)量和內(nèi)置樣本電流成像系統(tǒng),以幫助您充分利用實(shí)驗(yàn)。

詳細(xì)介紹

GCIB10S是一種高性能10千伏氣體團(tuán)簇離子束,用于快 速、低損傷濺射和更高質(zhì)量的表面分析。 GCIB 10S提供了大量有用的功能,包括實(shí)時(shí)集群大小測(cè) 量和內(nèi)置樣本電流成像系統(tǒng),以幫助您充分利用實(shí)驗(yàn)。 GCIB 10S具有完整的泵送系統(tǒng)和單獨(dú)軟件,是一種栓接式 升級(jí),將集束束濺射的力量引入現(xiàn)有的真空儀器,如 XPS、SEM和SIMS。


GCIB 10S可去除不定碳和其他表面污染,而不會(huì)損壞基材, 同時(shí)還可對(duì)有機(jī)物和聚合物等軟材料進(jìn)行無(wú)損傷深度剖析。 下圖顯示了分別使用Ar1和Ar2000蝕刻原始PET表面前后的C 1s 峰值。數(shù)據(jù)清楚地顯示了單原子Ar1束(紅色)造成的化學(xué)損 傷,而光譜在暴露于Ar2000束(藍(lán)色)后幾乎保持不變。



  • 10kV氬團(tuán)簇離子源,可選擇Ar1至 >Ar3000的團(tuán)簇。 
  • 實(shí)時(shí)集群測(cè)量和調(diào)整。
  • 采樣電流成像。 
  • 光斑尺寸大,掃描范圍寬,可均勻去 除材料。
  • 易于安裝在許多高真空儀器上。 
  • 單獨(dú)軟件和基于web套接字的API,用 于與第三方軟件集成。 



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