MDPmap 晶圓片壽命檢測儀

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所在地
上海市

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更新時間：2020-03-27 13:45:47瀏覽次數：386次

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束蘊儀器（上海）有限公司

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產品簡介

適用介質	其他	類型	其他流量儀表

用于精密材料研發(fā)的單晶和多晶片的壽命測量

詳細介紹

Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device

應用范圍：用于精密材料研發(fā)的單晶和多晶片的壽命測量

特性

●靈敏度：外延片不可見的缺陷和檢測的靈敏度的可視化
●測量速度：6英寸硅晶圓片，1mm分辨率，小于5分鐘
●使用壽命: 20納秒到幾毫秒
●污染測定：源自爐和設備的金屬(Fe)污染
●測量能力：從初始切割的晶圓片到*加工的樣品
●靈活性：固定測量頭允許外部激光與觸發(fā)器耦合
●可靠性：模塊化和緊湊的臺式儀器，更高的可靠性和正常運行時間> 99%
●重現性： > 99.5%
●電阻率：不需要頻繁校準

用于研發(fā)或生產監(jiān)控的靈活檢測工具

MDPmap是一個緊湊的臺式無觸點電子特性的離線生產控制或研發(fā)的工具。可測量參數如載流子壽命、光電導性、電阻率、缺陷信息在穩(wěn)態(tài)或注入范圍寬短脈沖勵磁(μ-PCD)。自動化的樣品識別和參數設置可以方便地適應各種不同的樣品，包括在不同的制備階段，從生長的晶圓片到高達95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。。
MDPmap的主要優(yōu)點是其高度的靈活性，它允許集成多4個激光器，用于從超低注入到高注入的依賴于注入水平的壽命測量，或者使用不同的激光波長提取深度信息。包括偏置光設施以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件的選項?？梢允褂貌煌膱D進行客戶定義的計算，也可以導出原始數據進行進一步的評估。對于標準計量任務，可用一個預定義的標準，使常規(guī)測量只需按一個按鈕。