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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2023-02-15 08:23:24瀏覽次數(shù)：199次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的雙管CVD系統(tǒng)，是專為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì)的，特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機(jī)可通過(guò)滑動(dòng)爐體，實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。
OTF-1200X-4-C4LVS雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐操作視頻 控溫儀表操作視頻
| 產(chǎn)品型號(hào) | 雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開(kāi)關(guān)），必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭） 4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
| 主要特點(diǎn) | 1、采用高純Al2O3保溫材料，保證了爐膛有的溫度均勻性，內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 2、設(shè)有雙石英管，金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上，以發(fā)生CVD反應(yīng)。 3、雙管的真空密封法蘭允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管。 4、配有四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體，及采用KF25快接和波紋管連接的高速機(jī)械泵。 5、底部設(shè)有滑軌，爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。 6、樣品所在的位置每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 |
| 技術(shù)參數(shù) | 1、電源：?jiǎn)蜗?/span>208V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW（20A保險(xiǎn)絲） 2、石英管：外管外徑Ø100mm，內(nèi)徑Ø96mm，長(zhǎng)1400mm 內(nèi)管外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø75mm，長(zhǎng)1400mm 3、加熱區(qū)：440mm 4、恒溫區(qū)：120mm（雙溫區(qū)爐可獲得240mm） 5、工作溫度：溫度1100℃，連續(xù)溫度1000℃ 6、控溫精度：±1℃ 7、升降溫速度：在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率 8、真空度：10-3torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵） 9、真空法蘭：SS304不銹鋼，配有兩個(gè)高溫O型圈密封 10、流量計(jì)：4路精密質(zhì)子流量計(jì)，氣體流量自動(dòng)控制（數(shù)字顯示） MFC1范圍0-100sccm MFC2范圍0-200sccm MFC3范圍0-200sccm MFC4范圍0-500sccm 11、流量精度：0.2% 12、進(jìn)出氣口：1/4"卡套 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg |
| 可選配件 | 1、銅箔（150m×150mm×25µm，生長(zhǎng)石墨烯用） 2、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì) |
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