用于反射薄膜生產(chǎn)等的自動濺射儀SC-701AT介紹
只需設(shè)置樣品并等待即可。全自動濺射,膜厚可調(diào)。

離子濺射是將靶材、樣品均置于真空室中;首先進(jìn)行抽真空,實(shí)現(xiàn)輝光放電所需的低氣壓環(huán)境;靶材接高壓,為負(fù)極;樣品臺接地,為正極;靶材與樣品臺之間形成高壓電場,電離氣體;氣體電離后,正離子飛向負(fù)極,轟擊靶材,靶材原子被濺射飛出,沉積到樣品上形成導(dǎo)電膜。
特征
用途和結(jié)果示例
將電極膜粘貼到各種設(shè)備上
用于反射薄膜生產(chǎn)等。
基本規(guī)格
陰極 | φ2 英寸/2 極對置電極 |
濺射靶材 | 單獨(dú)出售 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd |
蝕刻目標(biāo) | 包括 Al 目標(biāo) |
膜厚設(shè)定方法 | 預(yù)設(shè)方式/帶數(shù)顯膜厚監(jiān)測儀 |
氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
真空泵 | 直連旋轉(zhuǎn)泵:20l/min(帶自動泄漏) |
排氣操作 | 自動的 |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑 φ120mm x D120mm(SUS材質(zhì)) |
樣品交換方式 | 前門開閉方式 |
尺寸(寬/深/高) | 機(jī)身:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本體:15kg RP:9kg |