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電子設(shè)備行業(yè)潔凈室中的分子污染物監(jiān)測
在半導(dǎo)體、電視、通訊設(shè)備等電子器件行業(yè)中，潔凈室中的分子污染物（AMC*）會影響產(chǎn)品和制造設(shè)備的性能，導(dǎo)致生產(chǎn)質(zhì)量缺陷。
*AMC=空氣分子污染
手動分析需要成本、技能和時(shí)間。
我想知道什么時(shí)候更換化學(xué)過濾器合適。
電子元件模具的腐蝕
制造設(shè)備鏡片霧鏡
氧化膜耐壓性下降
蝕刻不良
薄膜生長不良（晶體中出現(xiàn)缺陷）
HORIBA的AMC監(jiān)測系統(tǒng)通過自動測量支持污染物濃度的趨勢監(jiān)測以及化學(xué)過濾器的維護(hù)和管理，補(bǔ)充了傳統(tǒng)的手動分析測量，為解決客戶的問題做出了貢獻(xiàn)。此外，通過結(jié)合室外大氣測量，我們可以提出更全面的測量解決方案。
通過穩(wěn)定的自動連續(xù)測量
來監(jiān)控污染趨勢，我們可以估計(jì)產(chǎn)品和外圍設(shè)備的缺陷原因，以及何時(shí)更換化學(xué)過濾器。
易于操作，
無需特殊技能。減少行政成本、時(shí)間和人力成本
該系統(tǒng)可以根據(jù)您的需求進(jìn)行升級。
使用選線器的多點(diǎn)測量、使用手推車的便攜式測量等（可選）
不僅支持潔凈室內(nèi)的大氣測量，還支持室外空氣的大氣測量。
潔凈室或循環(huán)空氣中分子污染物 (AMC) 的測量
在一些設(shè)備周圍等地點(diǎn)進(jìn)行集中測量
檢測特定事件，例如由于交通流量（室外空氣）增加而導(dǎo)致的氮氧化物濃度增加
它可以捕獲測量值之間的詳細(xì)波動，這是每周手動分析無法捕獲的。
它在大型工廠中特別有效，因?yàn)樗梢酝ㄟ^切換線路，用一臺設(shè)備測量多個(gè)位置（10 個(gè)或更多）。
APNA-370
氮氧化物（NOx）濃度測量裝置
![APNA-370 [高靈敏度]](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/_processed_/7/2/csm_APNA_370_11_9a2f56e5a6.png)
APNA-370 [高靈敏度]
氮氧化物（NOx）濃度測量裝置
APNA-370/CU-2
氨（NH3）濃度測量裝置
APSA-370
硫氧化物（SO2）濃度測量裝置
![APSA-370 [高靈敏度]](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/_processed_/1/2/csm_APSA_370_04_52977c384f.png)
APSA-370 [高靈敏度]
硫氧化物（SO2）濃度測量裝置
APSA-370/CU-1
硫化氫（H2S）濃度測量裝置
APHA-370
總碳?xì)浠衔铮═HC）濃度測量裝置
APOA-370
臭氧（O3）濃度測量裝置
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