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秋山科技(東莞)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)

時(shí)間:2024/7/4閱讀:480
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兼容Ni、Cr、W、TiAl等多種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)
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特征

DC 濺射類別中最小的超緊湊型號(hào)。

配備皮拉尼真空計(jì),確保成膜條件的再現(xiàn)性

標(biāo)準(zhǔn)配備手動(dòng)快門

使用專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松改變 TS 之間的距離。

可以進(jìn)行鎢涂層,因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。

用途和結(jié)果示例

將電極膜粘貼到各種設(shè)備上

用于反射薄膜生產(chǎn)等。

基本規(guī)格

陰極

φ2英寸直流磁控管/扁平電極

適用對(duì)象

Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al

壓力測量

皮拉尼真空計(jì)

壓力控制

帶針閥手動(dòng)控制
入口直徑 φ6mm 一觸式接頭

工藝氣體

氬氣

真空泵

直聯(lián)旋轉(zhuǎn)泵:20L/min(帶自動(dòng)泄漏)

腔室尺寸

內(nèi)徑φ90×D90mmSUS材質(zhì))

樣品交換方式

前門開閉方式

尺寸(寬//高)

機(jī)身:160/450/290mm 轉(zhuǎn)速:295.5/156/199.5mm

重量

本體:9kg RP9kg

 

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