sanyu濺射設(shè)備原理分析
它是一種將薄膜附著到物質(zhì)上的方法，與電鍍不同，它是在真空中進(jìn)行的，不使用化學(xué)品。（在半導(dǎo)體制造中，濕法工藝稱為干法工藝。）
將待涂覆的樣品和薄膜的原材料（目標(biāo)）放在附近。
整體處于真空狀態(tài)，樣品與靶材之間施加電壓。
電子和離子高速運(yùn)動(dòng)，離子與目標(biāo)碰撞。高速運(yùn)動(dòng)的電子和離子與氣體分子碰撞，撞擊分子的電子并變成離子。
與目標(biāo)碰撞的離子會(huì)排斥目標(biāo)粒子。(濺射現(xiàn)象)
被排斥的原料顆粒碰撞并粘附在樣品上，形成薄膜。
濺射的歷史
盡管這種現(xiàn)象早已為人所知，但直到最近才投入實(shí)際應(yīng)用。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)參見(jiàn)“鏈接"部分的參考資料。
1852年，英國(guó)科學(xué)家格羅夫發(fā)現(xiàn)了飛濺現(xiàn)象。此時(shí)，減少成為放電管污染原因的飛濺就變得非常重要。格羅夫因第一個(gè)進(jìn)行燃料電池實(shí)驗(yàn)而聞名。
第二次世界大戰(zhàn)期間，光學(xué)元件增透膜的需求增加，真空設(shè)備也得到改進(jìn)。
20世紀(jì)60年代以后，濺射薄膜沉積技術(shù)主要在美國(guó)開(kāi)始使用。（第一臺(tái)商用電子顯微鏡于 1965 年問(wèn)世。）
在成膜技術(shù)之前，濺射現(xiàn)象被用作離子泵。（通過(guò)濺射將氣體分子帶入電極以獲得更高的真空。）
飛濺的起源
這是一個(gè)擬聲詞，但為什么用這個(gè)詞來(lái)形容真空中發(fā)生的現(xiàn)象呢？
據(jù)說(shuō)“濺射"是描述這種現(xiàn)象的第一個(gè)詞。它的意思是發(fā)出“吐"或“咳嗽"等聲音，并傳播某物或發(fā)出該聲音。有些詞典也說(shuō)“發(fā)出咕嚕聲"，很多地方用它作為飛濺的意思。
目前英語(yǔ)中使用的 [ sputter ] 是 splutter 的同義詞。
濺射[濺射]是[濺射]目前的漸進(jìn)形式。雖然它用作名詞“濺射"，但 [ sputter ] 也用作名詞。
圖像是目標(biāo)散布著小爆發(fā)。
成膜方法的分類
濺射和真空蒸鍍是利用物理現(xiàn)象的成膜方法，但也有利用化學(xué)反應(yīng)的CVD。
CVD [Chemical Vapor Deposition] 化學(xué)氣相沉積法。這是一種將樣品置于氣態(tài)原料氣氛中，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)在樣品表面形成薄膜的方法。碳化硅膜是周知的，但也使用金屬和有機(jī)聚合物。特點(diǎn)是可以形成高純度的薄膜。
另一方面，真空蒸鍍和濺射被稱為PVD（物理氣相沉積）。當(dāng)原料顆粒通過(guò)蒸發(fā)或?yàn)R射附著在樣品上時(shí)形成薄膜，不涉及化學(xué)反應(yīng)。
濺射鍍膜的特點(diǎn)
該成膜方法具有以下特征。
作為膜原料的顆粒具有很大的能量，對(duì)樣品有很強(qiáng)的附著力。創(chuàng)造出強(qiáng)大的電影
可以在不改變合金和化合物等原材料的組成比的情況下形成膜。
即使是氣相沉積難以實(shí)現(xiàn)的高熔點(diǎn)材料也可以成膜。
只需改變時(shí)間即可高精度控制膜厚。
通過(guò)引入反應(yīng)氣體，還可以形成氧化物和氮化物膜。6：能夠在大面積上均勻地形成膜。
可以通過(guò)將樣品放置在目標(biāo)位置來(lái)進(jìn)行蝕刻。
成膜速度一般較慢（因方法而異）
各種濺射方法
介紹的原理是DC濺射，但已經(jīng)設(shè)計(jì)出各種方法來(lái)彌補(bǔ)其缺點(diǎn)。以下濺射方法是典型的。
直流濺射 – 在兩個(gè)電極之間施加直流電壓的方法
射頻濺射 – 施加交流電的方法（高頻）
磁控濺射 – 一種通過(guò)在靶側(cè)使用磁鐵產(chǎn)生磁場(chǎng)來(lái)從樣品中分離等離子體的方法。
離子束濺射——一種在遠(yuǎn)離目標(biāo)或樣品的位置產(chǎn)生離子并加速并施加到目標(biāo)的方法。
其他方法包括面向目標(biāo)、ECR（電子回旋加速器）和半導(dǎo)體制造中使用的準(zhǔn)直以及長(zhǎng)距離方法。此外，通過(guò)改變靶的形狀和磁體的布置，磁控管方法已經(jīng)開(kāi)發(fā)出各種方法。
直流濺射
這是第一個(gè)設(shè)計(jì)的濺射方法。盡管DC濺射具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等許多優(yōu)點(diǎn)，但它具有以下問(wèn)題。
需要產(chǎn)生輝光放電，且器件內(nèi)部真空度比較低，因此存在殘余氣體的影響。具體地，膜與氣體反應(yīng)，或者氣體被捕獲在膜內(nèi)。
氣體在等離子體狀態(tài)下分離成離子和電子，樣品也暴露在高溫等離子體中。由于溫度上升等原因可能會(huì)造成損壞。
如果原材料（靶材）是絕緣體，離子就會(huì)積聚在表面，放電就會(huì)停止。
射頻濺射
一種向絕緣目標(biāo)施加交流電（高頻）的方法。
將目標(biāo)和樣品靠近放置。
將高頻電壓施加到真空室和靶材上。
由于它是交流電，因此粒子加速的方向根據(jù)電壓而變化。
由于電子比離子更輕且更容易移動(dòng)，因此到達(dá)導(dǎo)電室的電子流入電路。
靶側(cè)的電子無(wú)處逃逸，變得更加密集。
結(jié)果，靶材側(cè)產(chǎn)生負(fù)偏壓，離子被吸引到靶材上并可以濺射。
磁控濺射
這是一種減少直流濺射中等離子體影響的方法。由于等離子體被限制在目標(biāo)附近，因此濺射速度也更快。
將背面帶有磁鐵的目標(biāo)放置在靠近樣品的位置。
通過(guò)施加電壓來(lái)進(jìn)行濺射。
磁場(chǎng)使電子沿著磁場(chǎng)線螺旋移動(dòng)。
等離子體在電子周圍產(chǎn)生，可以集中濺射。
特征
即使在高頻下也可使用 / 樣品附近不會(huì)產(chǎn)生等離子體，不會(huì)造成損壞 / 飛濺量大
壞處
目標(biāo)數(shù)量減少的方式存在不均勻性。
離子束濺射
在列出的四種方法中，這是不使用放電的方法。
從離子槍（對(duì)離子發(fā)生器產(chǎn)生的離子進(jìn)行加速并釋放的裝置）釋放的離子照射到目標(biāo)上并飛濺。DC濺射受到等離子體中的離子和電子等各種粒子的影響，但它是一種僅使用您想要用于濺射的離子的方法。向離子槍供應(yīng)惰性氣體以連續(xù)產(chǎn)生離子。（將原材料本身電離并直接用樣品轟擊它稱為離子鍍。）
特征
無(wú)需通過(guò)放電產(chǎn)生等離子體，因此即使在高真空（無(wú)雜質(zhì)混入）下也可以/離子源獨(dú)立，易于設(shè)定條件/不依賴于靶材的導(dǎo)電率
壞處
設(shè)備復(fù)雜、昂貴/成膜速度不快
濺射設(shè)備配置
根據(jù)方法的不同，它們也有所不同，但除了離子束濺射之外，它們幾乎是相同的。
真空室（氣體入口、樣品出口[快速鍍膜機(jī)采用前門，方便操作]）
排氣裝置（旋轉(zhuǎn)泵：放電時(shí)不需要高真空）
樣品臺(tái)（在三宇電子，經(jīng)常取出和放入的樣品臺(tái)位于底部。）
目標(biāo)安裝支架
電源（高頻、高壓電源等）
控制裝置
快速涂布機(jī)SC系列結(jié)合了上述要素，只需連接主體和泵即可使用。
濺射的使用方法
隨著射頻濺射等技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在不僅可以形成金屬，還可以形成各種材料的薄膜，并且現(xiàn)在得到了廣泛的應(yīng)用。
磁盤（垂直磁記錄介質(zhì)的產(chǎn)生）
CD/DVD（記錄面金屬膜）
半導(dǎo)體（電路生成、存儲(chǔ)器[鐵電薄膜]、各種傳感器）
磁頭（用于高密度記錄硬盤；最新磁頭采用多層薄膜）
噴墨打印機(jī)頭
液晶顯示裝置（透明電極的生成）
有機(jī)EL顯示裝置（透明電極的產(chǎn)生）
高亮度LED
電子顯微鏡樣品的制備（導(dǎo)電膜抗靜電）
光催化薄膜
分析（識(shí)別表面上濺射而不是成膜的材料。）
納米機(jī)器（形狀記憶合金薄膜）
在塑料、玻璃等上生成電磁屏蔽膜。
RF/DC濺射設(shè)備
這是用于實(shí)驗(yàn)研究的RF/DC濺射系統(tǒng)，具有出色的功能擴(kuò)展性，支持絕緣薄膜、氧化物薄膜、金屬薄膜和多層薄膜的生產(chǎn)。
SVC-700RF一號(hào)
小型、簡(jiǎn)單、低成本的射頻濺射設(shè)備
SVC-700RF II
具有優(yōu)良擴(kuò)展性的射頻濺射設(shè)備
SVC-700RF III
更加緊湊的臺(tái)式射頻濺射
SVC-700TMSG/Adexcel
臺(tái)式直流濺射，配備 φ2 英寸 x 3 源
用于生產(chǎn)導(dǎo)電薄膜的緊湊型濺射設(shè)備
臺(tái)式快速鍍膜機(jī) SC 系列
您可以使用這款緊湊且易于使用的設(shè)備輕松創(chuàng)建各種金屬的薄膜。
SEM/TEM等的前處理請(qǐng)點(diǎn)擊此處。
SC-701MkⅡ高級(jí)
一種高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)，可處理 Ni、Cr、W、Ti 和 Al 等多種金屬。
SC-701MkⅡ
該系列中最小的貴金屬濺射鍍膜機(jī)，可讓您輕松創(chuàng)建薄電極膜。
SC-701AT
只需設(shè)置樣品并等待即可。全自動(dòng)濺射，膜厚可調(diào)。
SC-701MC
采用對(duì)樣品溫和的磁控管陰極。全自動(dòng)機(jī)型，可控制膜厚。
SC-701HMCⅡ
磁控管型適合生產(chǎn)W/Ti/Cr等薄膜。微電腦控制/自動(dòng)快門標(biāo)準(zhǔn)配備。
SC-708系列
非常適合大型基板上的薄膜生產(chǎn)和 PDMS 表面處理
