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濺射儀SC-701MkII 介紹
DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。
配備皮拉尼真空計,確保成膜條件的再現(xiàn)性
標準配備手動快門
使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。
可以進行鎢涂層,因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。
將電極膜粘貼到各種設備上
用于反射薄膜生產(chǎn)等。
陰極 | φ2英寸直流磁控管/扁平電極 |
適用對象 | Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al |
壓力測量 | 皮拉尼真空計 |
壓力控制 | 帶針閥手動控制 入口直徑 φ6mm 一觸式接頭 |
工藝氣體 | 氬氣 |
真空泵 | 直聯(lián)旋轉泵:20L/min(帶自動泄漏) |
腔室尺寸 | 內徑φ90×D90mm(SUS材質) |
樣品交換方式 | 前門開閉方式 |
尺寸(寬/深/高) | 機身:160/450/290mm 轉速:295.5/156/199.5mm |
重量 | 本體:9kg RP:9kg |
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