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濺射儀SC-701MkII 介紹

時間:2024/1/31閱讀:636
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濺射儀SC-701MkII 介紹

兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機。

特征

  • DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。

  • 配備皮拉尼真空計,確保成膜條件的再現(xiàn)性

  • 標準配備手動快門

  • 使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。

  • 可以進行鎢涂層,因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。

用途和結果示例

  • 將電極膜粘貼到各種設備上

  • 用于反射薄膜生產(chǎn)等。

基本規(guī)格

陰極φ2英寸直流磁控管/扁平電極
適用對象Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
壓力測量皮拉尼真空計
壓力控制帶針閥手動控制
入口直徑 φ6mm 一觸式接頭
工藝氣體氬氣
真空泵直聯(lián)旋轉泵:20L/min(帶自動泄漏)
腔室尺寸內徑φ90×D90mm(SUS材質)
樣品交換方式前門開閉方式
尺寸(寬/深/高)機身:160/450/290mm 轉速:295.5/156/199.5mm
重量本體:9kg RP:9kg



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