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中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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濺射儀SC-701MkII 介紹

時(shí)間:2024/1/31閱讀:637
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濺射儀SC-701MkII 介紹

兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)。

特征

  • DC 濺射類別中最小的超緊湊型號(hào)。

  • 配備皮拉尼真空計(jì),確保成膜條件的再現(xiàn)性

  • 標(biāo)準(zhǔn)配備手動(dòng)快門

  • 使用專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松改變 TS 之間的距離。

  • 可以進(jìn)行鎢涂層,因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。

用途和結(jié)果示例

  • 將電極膜粘貼到各種設(shè)備上

  • 用于反射薄膜生產(chǎn)等。

基本規(guī)格

陰極φ2英寸直流磁控管/扁平電極
適用對(duì)象Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
壓力測(cè)量皮拉尼真空計(jì)
壓力控制帶針閥手動(dòng)控制
入口直徑 φ6mm 一觸式接頭
工藝氣體氬氣
真空泵直聯(lián)旋轉(zhuǎn)泵:20L/min(帶自動(dòng)泄漏)
腔室尺寸內(nèi)徑φ90×D90mm(SUS材質(zhì))
樣品交換方式前門開(kāi)閉方式
尺寸(寬/深/高)機(jī)身:160/450/290mm 轉(zhuǎn)速:295.5/156/199.5mm
重量本體:9kg RP:9kg



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