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excimer紫外線172nm準(zhǔn)分子燈的特性及應(yīng)用
在工業(yè)應(yīng)用中，常用的準(zhǔn)分子波長是 172 nm。其 7.23 eV 的能量足以直接裂解有機(jī)分子的所有主要鍵，但碳和氧 (C=O) 之間的鍵和一些無機(jī)氧化物之間的鍵除外。這使其成為表面改性、光清洗、光固化的選擇。
風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈單元，燈長160mm，該單元專為VUV 172波長的照射而設(shè)計(jì)，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，具有低成本、高性能的特點(diǎn)，準(zhǔn)分子UV燈可實(shí)現(xiàn)低溫精密處理。
緊湊型準(zhǔn)分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩模基板的燈。其特點(diǎn)是簡單緊湊、高可靠性風(fēng)冷型、無需更換燈管的長壽命準(zhǔn)分子燈。*1電源為AC100V。
特點(diǎn)
長壽命風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈。無需更換燈管
本來，準(zhǔn)分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒有電極，因此理論上它們被認(rèn)為是長壽命燈，在國外有時被稱為準(zhǔn)分子燈。然而，如今追求高照度的準(zhǔn)分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導(dǎo)致的玻璃變形，往往導(dǎo)致燈管壽命較短，從而導(dǎo)致成本較高。
根據(jù)多年的現(xiàn)場經(jīng)驗(yàn)，Excimer Co., Ltd.的風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件，但不需要更換內(nèi)部電極。燈管本身，實(shí)現(xiàn)低成本和高可靠性。*1
特征
風(fēng)冷方式，安裝方便。
燈管燈長160mm
電源 AC100V 50/60Hz
瞬時開/關(guān)燈功能。
適合研究和開發(fā)。
應(yīng)用領(lǐng)域
表面潤濕性和改性
光化學(xué)
反應(yīng)性O(shè)H自由基過程
抗蝕劑去除
UV O3工藝
準(zhǔn)分子燈功能應(yīng)用
1、增加表面能量和親水性
雖然聚合物和其他復(fù)合材料的表面輻照可能是準(zhǔn)分子常用的用途，但這種處理也幾乎適用于任何表面。將準(zhǔn)分子技術(shù)應(yīng)用于硅晶片、金屬和玻璃時，清潔、涂層和粘合也可以得到顯著改善。
圖表展示了玻璃、礦物和聚合物類型的例子，可以使用準(zhǔn)分子技術(shù)結(jié)合。
2、更廣泛的應(yīng)用范圍
在某些情況下，可以實(shí)現(xiàn)親水化，其中整個表面變得潤濕。此時，液體的接觸角達(dá)到零度，將液滴轉(zhuǎn)化為液膜。目前，準(zhǔn)分子燈正用于生態(tài)學(xué)、光化學(xué)、光生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、物理學(xué)、微電子學(xué)以及包括智能制造工業(yè)在內(nèi)的各種工業(yè)分支等等。
圖：銅、鋁、硅的在準(zhǔn)分子燈照射下接觸角變化
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