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ballwave球SAW傳感器的特點分析

時間:2024/1/6閱讀:668
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ballwave球SAW傳感器的特點分析

Ball Wave 的基礎(chǔ)技術(shù)“Ball SAW 傳感器”是一種緊湊、高速、高靈敏度的創(chuàng)新化學(xué)傳感技術(shù)。

直徑1毫米

小尺寸

將超聲波的一種——表面聲波(SAW)以帶狀限制在球體表面,從而實現(xiàn)緊湊的尺寸。

小尺寸

敏感膜

高速

由于軌道聲表面波多次穿過敏感膜,因此即使敏感膜很薄也可以測量氣體響應(yīng)。由于敏感膜很薄,因此在膜中的擴散時間短且快。

長距離傳播

高靈敏度(x100)

由于敏感膜上的氣體吸附而導(dǎo)致的 SAW 物理性質(zhì)的變化在一個循環(huán)中非常小,但通過重復(fù)循環(huán),這種變化可以放大,從而產(chǎn)生高靈敏度。

通過根據(jù)測量目標在微小的水晶球表面形成不同的敏感膜,可以測量多種氣體,例如微量水分、氫氣、天然氣和有機混合氣體。

除了水晶球的耐高溫和高壓性能外,它還具有比傳統(tǒng)技術(shù)高約100倍的靈敏度和更快的響應(yīng)速度,擴展了全新傳感器系統(tǒng)的可能性。

球聲表面波傳感器技術(shù)

球聲表面波傳感器

球聲表面波傳感器

SAW;表面聲波

發(fā)現(xiàn)了這樣一種物理現(xiàn)象:當在寬度等于球體直徑和波長的幾何平均值的球體表面激發(fā)表面波時,表面波像
自然平行光束一樣繞多圈,而沒有任何衍射現(xiàn)象。

多圈的聲表面波會隨著圈數(shù)放大聲速和衰減率的變化,從而可以更精確地測量這些變化。
通過在該多圈傳播路徑上安裝敏感薄膜,可以獲得小型、高速、高靈敏度的球型SAW傳感器。

測量氣體 水蒸氣 有機混合氣體 病毒
敏感膜 無定形二氧化硅 二甲基硅氧烷
(色譜柱材料)
鈀合金
(Pd Ni、Pd Pt)
抗體
適體
方法 單傳感器 氣相色譜法 單傳感器 單傳感器
產(chǎn)品 微量水分測定儀 便攜式氣相色譜儀 氫傳感器 抗原抗體傳感器
 

球SAW傳感器應(yīng)用示例1(氫氣)

方法比較 靈敏度范圍
場效應(yīng)管 10ppm-1%(低濃度)
電阻 1%-100%(高濃度)
表面聲波 0.1%-100%(高濃度)
球鋸 0.001%-100%(全量程)
快速響應(yīng)

球SAW傳感器應(yīng)用示例2(有機混合氣體)

電極孔徑 α=√λD
λ: SAW 波長
D: 球體直徑

  • 高靈敏度

  • 反應(yīng)快

  • 非破壞性的


 

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