Autocrater拋光機(jī)的原理分析
Autocrater可以通過(guò)用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品并使用光學(xué)顯微鏡測(cè)量拋光痕跡的長(zhǎng)度來(lái)測(cè)量薄膜厚度。
■無(wú)需樣品制備
無(wú)需進(jìn)行切割、拋光或樹(shù)脂嵌入等樣品制備即可創(chuàng)建橫截面。
可以按原樣測(cè)量沉積的樣品。
■可評(píng)估多層膜
各層的膜厚可以通過(guò)化學(xué)處理等改變膜的組成作為色調(diào)的差異來(lái)評(píng)價(jià)。
■應(yīng)用實(shí)例
TiN、CrN、TiAlN、TiCN 等、DLC、電鍍、這些的多層膜
本試驗(yàn)機(jī)根據(jù)磨痕長(zhǎng)度測(cè)量結(jié)果，采用ISO20423《弧坑磨削法測(cè)定涂層厚度》中規(guī)定的計(jì)算方法計(jì)算涂層厚度。此外，為了用該測(cè)試儀測(cè)量薄膜厚度，您將需要一個(gè)單獨(dú)的顯微鏡來(lái)測(cè)量拋光痕跡的長(zhǎng)度。
測(cè)量原理及規(guī)格
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| 首先，滴下金剛石漿料，并用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品表面。 | 接下來(lái)，觀察創(chuàng)建的拋光痕跡并
測(cè)量上圖中 X 和 Y 之間的距離。 |
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根據(jù)測(cè)量的長(zhǎng)度 X 和 Y 以及用于拋光的球的半徑，根據(jù)上式計(jì)算膜厚度。 |
●規(guī)格
◆軸轉(zhuǎn)速：100～3,000rpm
◆可設(shè)定旋轉(zhuǎn)時(shí)間：1秒～60分鐘
◆最大樣品尺寸：φ40mm
*可選配亞克力蓋。
消耗品
金剛石漿料和球
| 日本球SUJ2材質(zhì) | φ20mm |
| 日本球SUJ2材質(zhì) | φ30mm |
| 金剛石漿料 | 粒徑1.0μm（100cc） |
*純國(guó)產(chǎn)（日本制造）Nanotech制造
Autocrater 測(cè)量示例
TiN 涂層測(cè)試件
• 球直徑：30 mm
• 電機(jī)轉(zhuǎn)速：400 rpm
• 測(cè)試時(shí)間：30 秒
• 漿料類(lèi)型：金剛石漿料 1.0 µm
