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圓晶表面清潔度檢測的重要性

時間:2023/11/9閱讀:861
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圓晶表面清潔度檢測的重要性

晶圓表面的潔凈度會影響后續(xù)半導(dǎo)體工藝及產(chǎn)品的合格率,早期曾有文獻指出,在制造過程中,因未能有效去除晶圓表面的污染而產(chǎn)生的耗損,在所有產(chǎn)額損失中,可能占達(dá) 50% 以上的比例。故上海路陽儀器有限公司根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)客戶需求,研發(fā)出一款FY-18系列臺式表面檢查燈,三種光源可供選擇,適用于產(chǎn)品表面劃痕、污垢、異物的目視檢查。FY-18系列裝有勻光板,不刺眼,無級調(diào)光設(shè)計,客戶可以調(diào)整到自己理想的光照度。采用無風(fēng)扇設(shè)計,可在潔凈室中使用,50cm靈活的柔性臂,可任意角度照射。

FY-18系列(FY-100R的后繼型號)

采用LED光源,非常適合目視檢查產(chǎn)品表面的劃痕、污垢、異物等。
更輕松地對半導(dǎo)體零件、顯示器、樹脂產(chǎn)品和精密零件進行目視檢查。
通過與二向色濾光片相結(jié)合,變得更容易觀察,并且對眼睛溫和,減輕了工人的壓力。

特征
FY系列特征圖
  • 配備18W大功率LED

  • 瞬間點亮,無需預(yù)熱

  • 具有調(diào)光功能

  • 對被照射物體無熱影響

  • 由于無風(fēng)扇,因此即使在潔凈室中也可以使用。

  • 可通過柔性臂進行微調(diào)

光譜分布圖

FY-18N(白色)透明濾光片

FY-18N(透明白)透明濾光片

安裝綠色濾光片

安裝綠色濾光片
篩選

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備

過濾清除

清除

過濾擴散

擴散

可選(單獨出售)
可在 500 至 600 nm 波長下進行檢測。

過濾綠色

綠色的

過濾黃色

黃色的

產(chǎn)品規(guī)格
產(chǎn)品規(guī)格


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