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iwaki泵在半導(dǎo)體和液晶工藝運用中的重要性

時間:2023/9/6閱讀:813
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iwaki泵在半導(dǎo)體和液晶工藝運用中的重要性

在清潔條件至關(guān)重要的半導(dǎo)體和液晶工藝中,不得產(chǎn)生或混合顆粒或污染物。易威奇對此類精細工藝所需的超純水和化學(xué)溶液的傳輸控制技術(shù)充滿信心。
我們利用豐富的經(jīng)驗和專業(yè)知識來滿足從化學(xué)液體輸送應(yīng)用到各種加工應(yīng)用的各種客戶要求。

解決半導(dǎo)體和液晶領(lǐng)域所需的問題

  • 粒子

  • 在化學(xué)液體轉(zhuǎn)移過程中產(chǎn)生較少顆粒的結(jié)構(gòu)。為超潔凈制造工藝做出貢獻。

  • 污染

  • 高流量泵提高了從晶圓表面去除金屬和有機污染物的效率。

  • 高溫液體輸送

  • 最高耐液體溫度180度。兼容CARO(SPM)H3PO4等需要高溫液體輸送的化學(xué)液體。

  • 高壓傳輸

  • 可提供最大供氣壓力為 0.7 MPa 的泵。支持各種需要高壓放電的工藝。

  • 耐用性

  • 心臟處的波紋管采用成熟的R型波紋管??沙惺芨邏悍烹?,壽命長。

  • 減少停機時間

  • 易于維護的結(jié)構(gòu)無需定期重新擰緊雙頭螺栓。減少停機時間。

  • 應(yīng)用領(lǐng)域

  • 化學(xué)品供應(yīng)流程詳情
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    • 化學(xué)品供應(yīng)流程

    • 泵控制器保持流量和壓力恒定。提供穩(wěn)定的化學(xué)品供應(yīng)。

  • 清洗流程細節(jié)
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    • 清洗過程

    • 專有的無污染結(jié)構(gòu)最大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生。

  • 照片處理細節(jié)
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    • 照片處理

    • 步進電機驅(qū)動可實現(xiàn)高精度,再現(xiàn)性為 ±0.3% (FS) 或更小。

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    • 化學(xué)機械研磨工藝

    • 易威木的波紋管泵具有高壓排放能力,可以毫無問題地輸送 CMP 漿料。

  • 主要產(chǎn)品提供給半導(dǎo)體和液晶領(lǐng)域


  • 氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列

    氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列


  • 氣動波紋管泵FS-H系列

    氣動波紋管泵FS-H系列


  • 氣動波紋管泵FS-N系列

    氣動波紋管泵FS-N系列


  • 自動風(fēng)門 PDA-H1 / PDA-WB / PDA-W

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  • 化學(xué)補給泵CFD

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  • 光刻膠分配泵PDS-105R

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  • 電磁計量泵EWN-W系列(水質(zhì)控制用)

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  • 內(nèi)部液體不可補充的 pH/ORP 傳感器 8000 系列

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  • 化學(xué)罐 CT-U (25 – 120L)


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