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高性能殘余氣體分析儀 （RGA） 光譜儀 MPH介紹
特點
?每點1.1ms的超高速數據采集（模擬掃描，選擇性峰值）
?標準校準器（可選）
?可進行TCP/IP以太網連接 ?雙燈絲 （8）
?可現(xiàn)場更換的二次電子倍增管
?結合陽極、陰極和排斥電極的燈絲套件
?小型傳感器將安裝空間降至低
?2位動態(tài)范圍
?MDPP（最小檢測部分電壓）為<2.9E-2Pa（7amu） <b13>
?提高信噪比
?無需匹配傳感器和控制單元（SCU）
?通過雙重包裝在潔凈室環(huán)境中進行組裝、檢查和運輸
?符合RoHS標準
新設計的傳感器提高了平均故障時間，降低了運行成本 Transspector MPH的離子源由兩根燈絲組成，它們結合了陽極，陰極和驅蟲器電極。 雙燈絲設計，使用主和備用，允許傳感器長時間使用，避免災難性的系統(tǒng)故障。 Transpector MPH 還允許您為您的應用選擇合適的燈絲（鎢用于含鹵素工藝，釔涂層銥用于含氧工藝），因此該工藝不會縮短燈絲的使用壽命。
更換顯影器MPH的燈絲相當于更換傳統(tǒng)RGA的整個離子源。 維護點的減少大大降低了總成本。 Transpector MPH 通過用燈絲代替離子源來延長 RGA 的使用壽命和靈敏度，這些燈絲通常會因長期使用而受到污染。
該傳感器還為可現(xiàn)場更換的二次電子倍增管（EM）（如果配備二次電子倍增管）增加了價值。 在日常維護期間，EM可以在現(xiàn)場快速更換。 新的二次電子倍增管進一步提高了法拉第杯（FC）的靈敏度，并有助于其使用壽命。
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