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多功能、高精度、非接觸式三維測量光學(xué)系統(tǒng)的原理分析

時間:2023/4/3閱讀:804
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多功能、高精度、非接觸式三維測量光學(xué)系統(tǒng)的原理分析

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光學(xué)筆使用具有色差的共聚焦成像光學(xué)系統(tǒng)。 從點光源S(白光源)發(fā)出的光根據(jù)每個波長在S'上形成不同的成像點(λI)。 之后,再次返回相同的成像系統(tǒng),并且只有S“上的針孔中急劇重新成像的波長分量處于最大效率。 檢測其他波長分量的圖像。 這些波長由光譜儀和線性傳感器確定。 檢測對應(yīng)于被測物體的深度。 能夠在不受環(huán)境光影響的情況下展示高精度空間分辨率是該光學(xué)系統(tǒng)的主要優(yōu)勢。

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每個方面都可以測量。 多功能、非接觸式、高精度形狀光學(xué)頭 

?粗糙表面和鏡面(金屬、橡膠、玻璃、皮革、彈性體、液位等)的非接觸式測量 

?通過同時測量正面和背面的反射光,對透明體進行非接觸式厚度測量

?與參考表面的間隙測量
?表面粗糙度測量

模塊化類型,具有高度的自由度,可根據(jù)應(yīng)用配置最佳系統(tǒng) 通過組合兩種類型的光學(xué)模塊(放大鏡和測量鏡頭),您可以通過選擇適合應(yīng)用的規(guī)格來創(chuàng)建系統(tǒng),例如測量光斑直徑、測量范圍和分辨率。

除載物臺外沒有物理驅(qū)動元件,測量數(shù)據(jù)可以實時輸出。


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應(yīng)用示例

表面粗糙度測量在線檢測和質(zhì)量控制厚度測量自動對焦振動測量表面顯微形狀測量
表面粗糙度測量在線檢測
質(zhì)量控制
厚度測量自動對焦
振動測量
表面顯微形狀測量
球面和非球面透鏡測量超精密車床上的安裝示例
球面和非球面透鏡測量超精密車床上的安裝示例


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