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磁控離子濺射儀MSP-1S的檢測示例分析

時間:2022/11/30閱讀:797
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  磁控離子濺射儀MSP-1S的檢測示例分析
  Au:金
  觀察區(qū)域:幾千到10,000倍
  Au-Pd:金鈀
  觀察區(qū)域:10,000到50,000倍
  適合低倍觀察,對比度好。
 
  Pt:鉑
  觀察面積:50000~100000倍
  Pt--Pd:鉑鈀
  觀察面積:30000~50000倍
  粒徑細,常用于高倍觀察。
 
  相關(guān)產(chǎn)品特點
 
  ●磁控型濺射,采用較低外加電壓減輕樣品的離子損傷。
 
  ●真空度調(diào)節(jié):適合磁控離子濺射的真空度是 6-8Pa,MSP-1S 通 過機械泵抽泣與泄露閥漏氣的平衡,使樣品倉自動保持在適合的真空度范圍內(nèi),不需要手動做壓力調(diào)整。
 
  ●浮動樣品臺設(shè)計:樣品臺是浮動型并與樣機電機絕緣,可讓電子 不通過樣品而使溫度上升很少。
 
  ●占地面積:臺式設(shè)計,內(nèi)置機械泵,只需要有 20cm×40cm 的占 地面積,重量只有 14.6Kg。

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