我們的技術(shù)具有多種特點(diǎn)，其中之一是我們對真空薄膜生長的豐富知識和深刻理解。本課題組自1981年成立以來，已參加學(xué)術(shù)會議約200場，發(fā)表論文28篇，其中博士論文《電容式濕度傳感器及其制備的濕度傳感機(jī)制研究》，出版著作6部（合著）。（截至 2013 年 6 月 30 日），所有這些都與薄膜有關(guān)。另外，本公司的主打產(chǎn)品電容式濕度傳感器元件，使用了電極層、濕敏層、保護(hù)層等薄膜的疊層，是為了明確最佳成膜而努力的成果。濕度傳感器的條件。

本公司的濕度傳感器（此處為將濕度輸出為電壓或電流的裝置）中使用的濕度傳感器元件TI-A和TD-A是經(jīng)過長期基礎(chǔ)研究已實(shí)現(xiàn)商品化的電容型濕度傳感器元件。它是基于無需溫度校正即可檢測大范圍相對濕度的基本概念開發(fā)的，即使在高濕度區(qū)域也能長時間穩(wěn)定運(yùn)行。

TI-A和TD-A的濕敏部分使用有機(jī)聚合物薄膜。含有親水基團(tuán)的有機(jī)聚合物會根據(jù)環(huán)境濕度以大的偶極矩吸附和解吸水分子，因此薄膜的電容會根據(jù)濕度而變化。然而，這種變化通常不僅取決于相對濕度，還取決于環(huán)境溫度，因此需要復(fù)雜的溫度補(bǔ)償才能用作相對濕度傳感器。

為了避免因如此復(fù)雜的溫度校正而導(dǎo)致測量精度下降，TI-A 和 TD-A 的濕度敏感部分具有的結(jié)構(gòu)，其中由于水分子的吸附和解吸引起的介電常數(shù)變化取決于僅與相對濕度有關(guān)，與環(huán)境溫度無關(guān)。使用具有類似結(jié)構(gòu)的有機(jī)聚合物。請參閱“關(guān)于濕度測量的常見問題和解答"，了解具體的濕度傳感機(jī)制。

有機(jī)聚合物根據(jù)吸附水分子的量膨脹。從長遠(yuǎn)來看，較大的膨脹會導(dǎo)致作為濕度傳感器元件的特性變化。TI-A 和 TD-A 的濕度敏感部分使用吸附量相對較小的有機(jī)聚合物薄膜，即使在高濕度區(qū)域也能長時間穩(wěn)定運(yùn)行。

我們的大部分濕度傳感器中使用的濕度傳感器元件 TI-A 已調(diào)整其電容，使其在相對濕度方面具有 ±2%RH 的兼容精度。即使需要更換傳感器元件，無需將實(shí)際設(shè)備發(fā)送給我們。

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