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液晶面板材料用表面缺陷檢測設(shè)備介紹

時間:2022/6/16閱讀:1111
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液晶面板材料用表面缺陷檢測設(shè)備介紹

表面缺陷檢測設(shè)備(一般)

 


應(yīng)用流傳已久的魔鏡
(透光鏡)原理,達(dá)成實(shí)時檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。

非接觸、非破壞性的檢查,以及免維護(hù)的光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)選配,可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運(yùn)裝置、影像儲存、影像列印等功能。

1、即時顯示所有表面狀態(tài)。

2、
光學(xué)系統(tǒng)對應(yīng)等級1

3、學(xué)系統(tǒng)無須維護(hù)。


4、根據(jù)檢測內(nèi)容,可修正檢測靈敏度。


詢問此產(chǎn)品的型錄

檢測尺寸

φ100mm至φ300mm

檢測內(nèi)容

平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等

檢測倍率

1x / 3x 模式可切換(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備)

檢測靈敏度

檢測靈敏度可連續(xù)調(diào)整

使用光源

550nm?。ü潭ㄕ斩戎€(wěn)定光源)

鏡頭

高解析度CCD鏡頭

平臺

手動平臺(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備)


用途

 鏡面晶圓的表面檢測

 滑線檢

 玻璃基板檢測

 其他鏡面基板檢測
 

選配

 電動馬達(dá)檢測平移臺

 自動判定缺陷影像處理裝置

 影像列印機(jī)

 搬運(yùn)裝置

 

 

 
 
 
 
 
 
 
 
 

 

 

  

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