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上海民儀電子有限公司

日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵技術(shù)資料

時間:2022-11-20閱讀:74
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日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 一、產(chǎn)品簡介

        CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒,增強(qiáng)了葉片強(qiáng)度、減輕了轉(zhuǎn)子重量,縮短了啟動時間,降低了機(jī)械損耗,增加了使用壽命。

 

日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數(shù)曲圖

        

 

 

日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 三、主要性能指標(biāo)

 

型號

CFB-3600

進(jìn)氣口法蘭


LF400

排氣口法蘭

LF100

抽氣速率

L/s

3600

壓縮比N2/H2

1×108/5×102

極限壓強(qiáng)

Pa

2×10-6

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

12600

啟動時間

min

<10

停機(jī)時間

min

<20

振動值

μm

≤0.15

前極泵

L/s

30-70

冷卻水溫度

≤25

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~100

 

四、安裝尺寸圖

 

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