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上海民儀電子有限公司

日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵技術(shù)資料

時(shí)間:2022-11-19閱讀:73
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日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵 一、產(chǎn)品簡介

        CFB-K系列抗沖擊分子泵轉(zhuǎn)子采用國家新型加工而成,提高了葉齒強(qiáng)度,分子泵高速旋轉(zhuǎn)時(shí)可以抵抗瞬時(shí)5000Pa的大氣沖擊和粉塵,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

 

日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵 二、產(chǎn)品特點(diǎn)

        具有高壓強(qiáng)、抽速大的特點(diǎn),對(duì)被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng),由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。

 

日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵 三、主要性能指標(biāo)

 

型號(hào)

CFB-1200K

訂貨號(hào)

3181

3182

進(jìn)氣口法蘭

LF200

CF200

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

1200

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強(qiáng)

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

24000

啟動(dòng)時(shí)間

min

<5

軸承

陶瓷軸承

前極泵

L/s

8-15

振動(dòng)值

μm

≤0.1

冷卻水溫度

≤25

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

泵口耐壓

Pa

7000

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~31

 

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

CFB系列抗沖擊分子泵安裝尺寸表

型號(hào)規(guī)格

CFB-1200K

進(jìn)氣口法蘭

LF200

CF200

D1

Ф240

Ф253

D2

Ф267

Ф267

D3

□167.6

□167.6

L1

142

142

L2

152

152

H1

393

393

H2

108

108

H3

135.5

135.5

H4

104

104

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